詳細介紹
數(shù)字型質(zhì)量流量控制器( 大 量 程 )
Digital Mass Flow Controller
◆熱式原理,響應快,精度高
◆管狀分流,不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預熱時間短,零漂小,可靠性高
◆數(shù)字易輸入、輸出,可使用流量計算機控制或顯示流量
LOG10D質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部 件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。
LOG10D采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,不受溫度壓力的影響。將傳 感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電壓進行比較,用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán) 控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
技術(shù)參數(shù):
| 技術(shù)指標 | LOG10D-BC 質(zhì)量流控制器 | LOG10D-BM 質(zhì)量流量計 |
| 量程范圍 | 500SLM ~ 3000SLM | |
| 測控范圍 | 控制器閥控范圍 50:1 | 流量計量程比 100:1 |
| 準確度 | ±1.0%F.S | |
| 線性 | ±0.5%F.S | |
| 重復精度 | ±0.2%F.S | |
| 響應時間 | <2s | <0.8s |
| 數(shù)字量 | RS232/485,MODBUS 協(xié)議 | |
| 模擬量 | 0 ~ 5V、4-20mA、1 ~ 5V | |
| 供電 | ±15VDC,24VDC | |
| 工作溫度 | 0 ~ 50℃ | |
| 工作壓力 | 工作壓差:0.3~ 0.5MPa | 工作壓降:<0.01Mpa |
| 耐壓 | 3MPa/10MPa | |
| 電氣連接 | DB15 孔 | |
| 漏率 | 1×10-9SCCSHe | |
| 溫度系數(shù) | ±0.025%F.S/℃ | |
| 底座材質(zhì) | 316L | |
| 密封材質(zhì) | 氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠 | |
| 接頭 | φ12, 3/4",法蘭安裝 | |
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