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詳細(xì)介紹
長電全自動硅料硅片槽式清洗設(shè)備
長電全自動機(jī)硅料硅片清洗機(jī)，廣泛應(yīng)用在太陽能光伏硅料清洗和半導(dǎo)體硅片晶圓以及液晶面板的自動化的清洗工藝制程中，采用全自動機(jī)械手取放清洗材料。
本公司的硅料硅片清洗機(jī)有多種型號，適用于不同工藝段的硅料清洗。
1、清洗設(shè)備材質(zhì)：
PPN、PP（聚丙烯）PVDF（聚四氟乙烯）SUS（耐腐蝕鋼材）—— 耐化學(xué)腐蝕的特性
PPN、PP（聚丙烯）PVDF（聚四氟乙烯）SUS（耐腐蝕鋼材）—— 耐化學(xué)腐蝕的特性
2、清洗設(shè)備組成：
機(jī)架，機(jī)械搬運(yùn)部分（上下料臺、機(jī)械手），清洗主體，抽風(fēng)系統(tǒng)，電控操系統(tǒng) 等
硅片硅料清洗機(jī)移載機(jī)械手
機(jī)架，機(jī)械搬運(yùn)部分（上下料臺、機(jī)械手），清洗主體，抽風(fēng)系統(tǒng)，電控操系統(tǒng) 等
硅片硅料清洗機(jī)移載機(jī)械手
3、硅片清洗設(shè)備的主要作用：
清洗掉硅料表面附著的污染物、金屬離子、氧化物等保證硅片，硅料表面的潔凈度。
清洗掉硅料表面附著的污染物、金屬離子、氧化物等保證硅片，硅料表面的潔凈度。
具有自動化程度高，配比精確，操作簡便等特點(diǎn)；具有良好的耐腐蝕性能。控制模式：手動控制模式、自動控制模式
采用德國清洗工藝流程制作，旋轉(zhuǎn)清洗方式，保證硅料各點(diǎn)均被腐蝕，清洗效果好。裝載量: 15~30kg/籃，每小時~210kg的處理能力。
全程自動控制，自動配、補(bǔ)液，工藝槽自動循環(huán)，保證工藝藥液的均勻。
全面的防腐措施，有效避免酸氣、液的溢出，保證生產(chǎn)安全有效進(jìn)行。
高速移載機(jī)械手，運(yùn)行更平穩(wěn)，定位更可靠，保證運(yùn)行不產(chǎn)生晃動。
獨(dú)特的制冷控制系統(tǒng)，能有效控制腐蝕反應(yīng)溫度。
的烘干技術(shù)，保證硅料，硅片，晶圓各角度干燥。
更人性化的操作界面，采用觸摸屏終端顯示，智能化記憶控制，有效提高工作效率。主要元器件采用國際品牌。
想了解更多的自動化硅片清洗機(jī)資料請咨詢長電客服，我們可以根據(jù)您不同的制程定制不同的硅料清洗設(shè)備以及清洗制程的自動化設(shè)備升級。
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