詳細(xì)介紹
長電全自動(dòng)硅料硅片槽式清洗設(shè)備

長電全自動(dòng)機(jī)硅料硅片清洗機(jī),廣泛應(yīng)用在太陽能光伏硅料清洗和半導(dǎo)體硅片晶圓以及液晶面板的自動(dòng)化的清洗工藝制程中,采用全自動(dòng)機(jī)械手取放清洗材料。
本公司的硅料硅片清洗機(jī)有多種型號(hào),適用于不同工藝段的硅料清洗。
1、清洗設(shè)備材質(zhì):
PPN、PP(聚丙烯)PVDF(聚四氟乙烯)SUS(耐腐蝕鋼材)—— 耐化學(xué)腐蝕的特性
PPN、PP(聚丙烯)PVDF(聚四氟乙烯)SUS(耐腐蝕鋼材)—— 耐化學(xué)腐蝕的特性
2、清洗設(shè)備組成:
機(jī)架,機(jī)械搬運(yùn)部分(上下料臺(tái)、機(jī)械手),清洗主體,抽風(fēng)系統(tǒng),電控操系統(tǒng) 等

硅片硅料清洗機(jī)移載機(jī)械手
機(jī)架,機(jī)械搬運(yùn)部分(上下料臺(tái)、機(jī)械手),清洗主體,抽風(fēng)系統(tǒng),電控操系統(tǒng) 等

硅片硅料清洗機(jī)移載機(jī)械手
3、硅片清洗設(shè)備的主要作用:
清洗掉硅料表面附著的污染物、金屬離子、氧化物等保證硅片,硅料表面的潔凈度。
清洗掉硅料表面附著的污染物、金屬離子、氧化物等保證硅片,硅料表面的潔凈度。
具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式
采用德國清洗工藝流程制作,旋轉(zhuǎn)清洗方式,保證硅料各點(diǎn)均被腐蝕,清洗效果好。裝載量: 15~30kg/籃,每小時(shí)~210kg的處理能力。
全程自動(dòng)控制,自動(dòng)配、補(bǔ)液,工藝槽自動(dòng)循環(huán),保證工藝藥液的均勻。
全面的防腐措施,有效避免酸氣、液的溢出,保證生產(chǎn)安全有效進(jìn)行。
高速移載機(jī)械手,運(yùn)行更平穩(wěn),定位更可靠,保證運(yùn)行不產(chǎn)生晃動(dòng)。
獨(dú)特的制冷控制系統(tǒng),能有效控制腐蝕反應(yīng)溫度。

的烘干技術(shù),保證硅料,硅片,晶圓各角度干燥。
更人性化的操作界面,采用觸摸屏終端顯示,智能化記憶控制,有效提高工作效率。主要元器件采用國際品牌。
想了解更多的自動(dòng)化硅片清洗機(jī)資料請(qǐng)咨詢長電客服,我們可以根據(jù)您不同的制程定制不同的硅料清洗設(shè)備以及清洗制程的自動(dòng)化設(shè)備升級(jí)。
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