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詳細介紹
主要技術參數(shù)
● 測量光譜范圍：190nm—2100nm
● 橢偏類型：采用PEM相位調制
● 測量范圍：Psi= 0°-90°，Delta= 0°-360°無死區(qū)
● 入射角： 55°-90°；入射角控制精度：5°
● 樣品臺尺寸：可放置直徑150mm、厚度≥20mm的樣品
功能特點
50KHz高頻PEM相調制技術，測量光路中無運動部件可實
可實現(xiàn)原位的變溫橢偏測試
雙光柵光譜儀系統(tǒng)，雜散光抑制水平高
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