干式螺桿真空泵是由一對平行的螺旋狀轉(zhuǎn)子與泵體組成的一個工作室，經(jīng)五軸聯(lián)動復(fù)合加工中心加工的二個螺桿轉(zhuǎn)子之間及其與泵體之間沒有摩擦且保持一定的間隙，兩個轉(zhuǎn)子與泵體之間形成了多個密封腔，轉(zhuǎn)子通過同比齒輪在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)時，將各密封腔內(nèi)的氣體從進(jìn)氣端不斷地推向排氣端，而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。
        螺桿泵工作腔為間隙密封，無潤滑油，是環(huán)保型真空設(shè)備，因此干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體，極限真空高，消耗功率低，具有節(jié)能、降耗免維修等優(yōu)點(diǎn)，特別在半導(dǎo)體、電子工業(yè)中要求無油潔凈的場合以及化工制藥中對溶劑的回收工藝等具有不可比擬的*性。
        螺桿真空泵是傳統(tǒng)水環(huán)真空泵、水噴射真空泵、往復(fù)真空泵、滑閥真空泵、旋片式真空泵等真空泵的替代產(chǎn)品，該產(chǎn)品的升級換代可有效消除醫(yī)藥化工行業(yè)真空流程的污水排放，有利尾氣溶劑回收，也可有效降低滑閥真空泵、旋片式真空泵的油蒸汽污染，降低設(shè)備維護(hù)成本。

螺桿真空泵性能特點(diǎn)
1.工作腔內(nèi)無潤滑油存在，可獲得清潔真空
2.工作腔內(nèi)無油氣污染被抽氣體，工藝性氣體回收利用率高，尾氣處理方便；同時也避免了油氣和油煙等的排放，環(huán)境污染小。
3.工作腔內(nèi)無潤滑油存在，避免了因潤滑油乳化、變質(zhì)而出現(xiàn)的運(yùn)行故障，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性，同時減少了泵潤滑油的損耗。
4.泵適用范圍廣。泵工作腔及螺旋轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣的工況；
5.泵腔為間隙密封結(jié)構(gòu)，對少量小顆粒粉塵不敏感，且泵腔直通，無中隔板結(jié)構(gòu)，粉塵不易在泵腔內(nèi)沉積；采用防爆配置時可用于抽除易燃易爆的氣體。
6.泵工作時泵腔內(nèi)溫度可達(dá)到100℃以上，使可凝性氣不易冷凝，且泵腔內(nèi)為直通結(jié)構(gòu)，排氣口在泵腔底部，泵腔內(nèi)的雜物容易排出，因此適宜抽取可凝性氣體。
7.泵可單獨(dú)使用，或者與羅茨泵、分子泵等組合成無油真空機(jī)組，作為機(jī)組的前級泵使用。單泵進(jìn)氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作，抽氣效率高，可大大簡化抽真空系統(tǒng)。
8.螺桿泵工作時需保持較高溫度，且泵工作時外表面自然散熱的效率相對提高，且冷卻水與泵體溫差大，冷卻效果好，因此泵冷卻水用量少，對冷卻水的溫度要求低。
9.的以螺旋方式將多級轉(zhuǎn)子直接串聯(lián)，聯(lián)消了中隔板結(jié)構(gòu)，無中間級吸排氣過程，工作過程簡單、連續(xù)，效率高，泵運(yùn)行穩(wěn)定性高。
10.泵腔內(nèi)各零件采用間隙密封，零件間無接觸摩擦存在，零件損耗小，壽命長；同時泵轉(zhuǎn)速高，整機(jī)體積小。
11.螺桿泵結(jié)構(gòu)簡單，零件種類、數(shù)量少，維護(hù)方便。
12.啟動快，啟動電流小，啟動時對電網(wǎng)的沖擊小，啟動后泵即達(dá)正常抽速。