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上海頻標(biāo)科技有限公司
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聯(lián)系方式：黃少華查看聯(lián)系方式
更新時間：2025-03-30 08:17:43瀏覽次數(shù)：237次
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平臺特性 集成式3 軸平臺，正交性設(shè)計 全局平面度、直線度達(dá)微米級X 軸 高剛度防蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌 無線纜擾動力設(shè)計Z 軸 垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)定位精度 高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計 垂向增量光柵，可實現(xiàn)5 納米分辨率 超薄型、輕量化設(shè)計 垂向可支持30mm 行程Rz 軸 360 旋轉(zhuǎn)，無管路纏繞，支持12’、8’晶圓真空吸附 支持±0.7mm 翹曲晶圓 支持轉(zhuǎn)速......
平臺概要
磁浮多軸運動臺采用超薄型、正交性設(shè)計理念。能實現(xiàn)X、Z 和Rz 軸3 自由度的高精度、高剛度直線和旋轉(zhuǎn)運動。其中垂向采用了的大行程磁浮重力補償技術(shù)，降低垂向電機(jī)的載荷，極大的提高垂向運動性能和壽命的功能?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等。
技術(shù)參數(shù)
定制信息
磁浮多軸運動臺可選項：在Maglev Multi-axis Stage 產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項。可選內(nèi)容包括編碼器、高精度標(biāo)定、控制系統(tǒng)等選項。
編碼器選項
-E1 增量式模擬光學(xué)式線性編碼器，1Vpp
-E2 增量式數(shù)字光學(xué)式線性編碼器，TTL
-E3 式光學(xué)式線性編碼器，BISS
高精度標(biāo)定選項
-PLUS 高精標(biāo)定：產(chǎn)品生產(chǎn)結(jié)束，出廠前對平臺進(jìn)行干涉儀標(biāo)定
控制系統(tǒng)選項
-PEG ACS 4 軸驅(qū)動器，可選配支持PEG 等功能
-STO ACS 4 軸驅(qū)動器，可選配支持STO 等功能
-VCL ACS 4 軸驅(qū)動器，可選配支持自動對焦等功能
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