干燥設(shè)備 粉碎設(shè)備 混合設(shè)備 反應(yīng)設(shè)備 過(guò)濾分離設(shè)備 過(guò)濾材料 滅菌設(shè)備 萃取設(shè)備 貯存設(shè)備 傳熱設(shè)備 鍋爐 塔設(shè)備 結(jié)晶設(shè)備 其它制藥設(shè)備
上海頻標(biāo)科技有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所 在 地
聯(lián)系方式：黃少華查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2025-03-30 08:17:43瀏覽次數(shù)：237次
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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷(xiāo)商
商鋪產(chǎn)品：167條
所在地區(qū)：上海上海市
聯(lián)系人：黃少華 （總經(jīng)理）
平臺(tái)特性 集成式3 軸平臺(tái)，正交性設(shè)計(jì) 全局平面度、直線度達(dá)微米級(jí)X 軸 高剛度防蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌 無(wú)線纜擾動(dòng)力設(shè)計(jì)Z 軸 垂向磁懸浮重力補(bǔ)償，可實(shí)現(xiàn)定位精度 高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計(jì) 垂向增量光柵，可實(shí)現(xiàn)5 納米分辨率 超薄型、輕量化設(shè)計(jì) 垂向可支持30mm 行程Rz 軸 360 旋轉(zhuǎn)，無(wú)管路纏繞，支持12’、8’晶圓真空吸附 支持±0.7mm 翹曲晶圓 支持轉(zhuǎn)速......
平臺(tái)概要
磁浮多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)采用超薄型、正交性設(shè)計(jì)理念。能實(shí)現(xiàn)X、Z 和Rz 軸3 自由度的高精度、高剛度直線和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。其中垂向采用了的大行程磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，降低垂向電機(jī)的載荷，極大的提高垂向運(yùn)動(dòng)性能和壽命的功能?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查等。
技術(shù)參數(shù)
定制信息
磁浮多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)可選項(xiàng)：在Maglev Multi-axis Stage 產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶(hù)實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)?？蛇x內(nèi)容包括編碼器、高精度標(biāo)定、控制系統(tǒng)等選項(xiàng)。
編碼器選項(xiàng)
-E1 增量式模擬光學(xué)式線性編碼器，1Vpp
-E2 增量式數(shù)字光學(xué)式線性編碼器，TTL
-E3 式光學(xué)式線性編碼器，BISS
高精度標(biāo)定選項(xiàng)
-PLUS 高精標(biāo)定：產(chǎn)品生產(chǎn)結(jié)束，出廠前對(duì)平臺(tái)進(jìn)行干涉儀標(biāo)定
控制系統(tǒng)選項(xiàng)
-PEG ACS 4 軸驅(qū)動(dòng)器，可選配支持PEG 等功能
-STO ACS 4 軸驅(qū)動(dòng)器，可選配支持STO 等功能
-VCL ACS 4 軸驅(qū)動(dòng)器，可選配支持自動(dòng)對(duì)焦等功能
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