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行業(yè)產(chǎn)品

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磁懸浮垂向與旋轉(zhuǎn)臺(tái)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：黃少華查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-03-30 08:14:56瀏覽次數(shù)：184次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：167條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：黃少華 （總經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

該系列產(chǎn)品包含扁平ZT 臺(tái)（MZT-10 Stage）、大行程ZT 臺(tái)（MZT-25 Stage）、高性能ZT 臺(tái)（MZT-24-CRG Stage）

詳細(xì)介紹

類別 描述

扁平ZT 臺(tái)（MZT-10 Stage）

平臺(tái)特性
  • 高精度無(wú)限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
  • 雙軸高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計(jì)
  • 垂向精密導(dǎo)向X3 設(shè)計(jì)、高剛性
  • 負(fù)載大、抗偏心能力高
  • 內(nèi)置技術(shù)：大行程磁浮重力補(bǔ)償
  • 質(zhì)量的Z 軸抖動(dòng)及運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定性能
  • 全閉環(huán)伺服設(shè)計(jì)

平臺(tái)概要
扁平ZT 臺(tái)采用旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和創(chuàng)新性垂向運(yùn)動(dòng)在軸向進(jìn)行耦合的設(shè)計(jì)思想，具有極為緊湊扁平的輪廓尺寸。能實(shí)現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運(yùn)動(dòng)無(wú)限制旋轉(zhuǎn)，和MZT-25 Stage 相比，成本更低?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查等。

大行程ZT 臺(tái)（MZT-25 Stage）

平臺(tái)特性
  • 高精度無(wú)限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
  • 雙軸高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計(jì)
  • 垂向精密導(dǎo)向X4 設(shè)計(jì)、高剛性
  • 負(fù)載大、抗偏心能力高
  • 內(nèi)置技術(shù)：大行程磁浮重力補(bǔ)償
  • 質(zhì)量的Z 軸抖動(dòng)及運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定性能
  • 全閉環(huán)伺服設(shè)計(jì)

平臺(tái)概要
大行程ZT 臺(tái)采用旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和垂向運(yùn)動(dòng)創(chuàng)新性的在軸向進(jìn)行耦合的設(shè)計(jì)思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實(shí)現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運(yùn)動(dòng)無(wú)限制旋轉(zhuǎn)。和MZT-10 Stage 相比，垂向剛度更高，負(fù)載和抗偏心能力更大?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查等。

高性能ZT 臺(tái)（MZT-24-CRG Stage）

平臺(tái)特性
  • 高精度無(wú)限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
  • 雙軸高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計(jì)
  • 垂向高剛度交叉滾柱導(dǎo)軌設(shè)計(jì)
  • 內(nèi)置技術(shù)：大行程磁浮重力補(bǔ)償
  • 質(zhì)量的Z 軸抖動(dòng)及運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定性能
  • 全閉環(huán)伺服設(shè)計(jì)

平臺(tái)概要
高性能ZT 臺(tái)采用旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和垂向運(yùn)動(dòng)創(chuàng)新性的在軸向進(jìn)行耦合的設(shè)計(jì)思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實(shí)現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運(yùn)動(dòng)無(wú)限制旋轉(zhuǎn)。和MZT-24 Stage 相比，垂向性能更高?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查等。


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