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| 參 考 價(jià) | 面議 |
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更新時(shí)間：2025-03-30 08:09:04瀏覽次數(shù)：171次
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該系列產(chǎn)品包含氣浮重力補(bǔ)償垂向臺(tái)（ALGZ-60a Stage）、磁浮重力補(bǔ)償垂向臺(tái)（MZ-10 Stage）、重載垂向臺(tái)（MTZ-25 Stage）
| 類別 | 描述 |
| 氣浮重力補(bǔ)償垂向臺(tái)（ALGZ-60a Stage） | 平臺(tái)特性
平臺(tái)概要 氣浮重力補(bǔ)償垂向臺(tái)采用了高精度的防蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌設(shè)計(jì)思想。能實(shí)現(xiàn)垂向高精度、高剛度直線運(yùn)動(dòng)。其中采用了氣浮重力補(bǔ)償技術(shù)，具有降低垂向電機(jī)的載荷，極大的提高垂向運(yùn)動(dòng)性能和壽命的功能?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、光纖對(duì)準(zhǔn)、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。 |
| 磁浮重力補(bǔ)償垂向臺(tái)（MZ-10 Stage） | 平臺(tái)特性
平臺(tái)概要 磁浮重力補(bǔ)償垂向臺(tái)采用緊湊扁平的輪廓尺寸設(shè)計(jì)思想。垂向采用了大行程磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，具有降低垂向電機(jī)的載荷，極大的提高垂向運(yùn)動(dòng)性能和壽命的功能。可實(shí)現(xiàn)高精度上下方向定位的升降。垂向可提供高剛度機(jī)械導(dǎo)軌和高性能氣浮導(dǎo)軌選項(xiàng)。氣浮導(dǎo)軌可提供更高精度的雙向重復(fù)性能?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查等。 |
| 重載垂向臺(tái)（MTZ-25 Stage） | 平臺(tái)特性
平臺(tái)概要 重載垂向臺(tái)系列平臺(tái)采用創(chuàng)新楔形機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。通過高剛度導(dǎo)柱和高精度絲杠結(jié)構(gòu)，使得平臺(tái)具有的定位精度、重復(fù)定位精度和大負(fù)載能力?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、光纖對(duì)準(zhǔn)等領(lǐng)域。 |
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