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一維轉(zhuǎn)臺（Rz Stage）

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：黃少華查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-03-30 08:07:30瀏覽次數(shù)：170次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：167條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：黃少華 （總經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

包含機械轉(zhuǎn)臺（MRDS-180 Stage）、氣浮轉(zhuǎn)臺（ARDS-180 Stage）

詳細介紹

類別 描述

機械轉(zhuǎn)臺（MRDS-180 Stage）

平臺特性
  • 高動態(tài)響應(yīng)、非接觸力矩電機驅(qū)動
  • 高精度的光學(xué)式線性編碼器反饋
  • 高剛度、高精度交叉滾子軸承設(shè)計
  • 極為優(yōu)異的定位精度和動態(tài)性能
  • 端跳、軸跳精度高

平臺概要
機械轉(zhuǎn)臺采用了大中孔扁平的設(shè)計思想。能實現(xiàn)Rz 方向高精度、高剛度無限制旋轉(zhuǎn)?？蓮V泛應(yīng)用于醫(yī)療、半導(dǎo)體檢測（薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查）等領(lǐng)域。

氣浮轉(zhuǎn)臺（ARDS-180 Stage）

平臺特性
  • 高動態(tài)響應(yīng)、非接觸力矩電機驅(qū)動
  • 高精度的光學(xué)式線性編碼器反饋
  • 內(nèi)置技術(shù)：高剛度、高精度封閉式氣浮軸承設(shè)計
  • 納米級端跳、軸跳精度
  • 超薄尺寸設(shè)計

平臺概要
氣浮轉(zhuǎn)臺以超薄的外形提供了出色的角度定位，速度穩(wěn)定性和誤差運動性能。旨在滿足晶圓檢查，高精度計量，X 射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢查和制造以及MEMS /納米技術(shù)設(shè)備制造的嚴格要求。

關(guān)鍵詞：編碼器

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