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納米級定位精度垂直運(yùn)動(dòng)Z向平臺

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更新時(shí)間：2025-03-30 08:04:22瀏覽次數(shù)：166次

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上海頻標(biāo)科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

V-305 系列是納米級定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)Z 向平臺，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻、檢測和封裝、外形輪廓測量、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測序等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。高精度直驅(qū)升降臺快速響應(yīng)（截止頻率大于120Hz）超薄尺寸，適用于緊湊空間標(biāo)配輔助承載氣缸，實(shí)現(xiàn)大負(fù)載快響應(yīng) 分辨率1nm，重復(fù)定位精度優(yōu)于±100......

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品與應(yīng)用描述
V-305 系列是納米級定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)Z 向平臺，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)200Hz 以上。
V-305 升降臺是系列運(yùn)動(dòng)平臺的有效補(bǔ)充，可以與R-301 或者平面氣浮組成多軸系統(tǒng)來滿足客戶應(yīng)用。在一些半導(dǎo)體應(yīng)用案例中，對整體運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)有苛刻的精度和幾何性能要求，該系列可以為這類應(yīng)用提供整體解決方案。V-305 平臺側(cè)向高度低，阿貝誤差小且節(jié)省空間，內(nèi)置氣動(dòng)平衡裝置承載15kg負(fù)載，可以同時(shí)滿足重負(fù)載，高精度和低側(cè)面的要求。

V-305 升降臺結(jié)構(gòu)緊湊小巧，但是有較高的定位精度，配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，V-305升降臺的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量可以小于5nm，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻、檢測和封裝、外形輪廓測量、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測序等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。