當(dāng)前位置：上海頻標(biāo)科技有限公司>>光電>>TMC STACIS III - 主動壓電消振系統(tǒng)

TMC STACIS III - 主動壓電消振系統(tǒng)

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地

在線詢價收藏產(chǎn)品

聯(lián)系方式：黃少華查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-03-29 09:07:21瀏覽次數(shù)：153次

聯(lián)系我時，請告知來自制藥網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

暫無信息

上海頻標(biāo)科技有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：167條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：黃少華（總經(jīng)理）

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

概述- STACISIII是一種靈活的高級主動隔振系統(tǒng)。STACIS采用的慣性振動傳感器、的控制算法和的壓電致動器，通過連續(xù)測量地面活動，然后擴(kuò)展和收縮壓電致動器來過濾地面運動，以實時消除振動。STACIS最初設(shè)計用于隔離半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設(shè)備，現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實驗室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心）......

詳細(xì)介紹

STACIS III的優(yōu)勢-

STACIS比空氣隔振器硬數(shù)百倍，沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒有“軟"懸架，與主動空氣系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動空氣隔振系統(tǒng)的工具下方，使兩個系統(tǒng)都在狀態(tài)下運行。

的串行設(shè)計和專有的高力壓電技術(shù)
可實現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的主動隔振性能。

性能

使用VC-C（500μ英寸/秒，12.5μ米/秒RMS）的模擬振動來測試4500磅（2045千克）有效載荷

規(guī)格

性能規(guī)格

主動自由度	6
主動帶寬	0.6 Hz - 150 Hz
被動固有頻率	18 Hz垂直和水平
有效的主動共振頻率	0.5 Hz
1 Hz時的隔振	40% - 70%
≥2 Hz時的隔振	≥90%
10磅（4.5千克）步進(jìn)輸入后的穩(wěn)定時間（減少10:1）	0.3秒
內(nèi)部噪音	<0.1 nm RMSd>
每個隔振器的工作負(fù)載范圍	低承重能力：400 - 1100磅（182 - 500千克）中等承重能力：900 - 2100磅（410 - 955千克）高承重能力：1900 - 4500磅（864 - 2045千克）
剛度（1000磅/ 454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器）	40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)
從距離隔振器4英寸（102毫米）處發(fā)射的磁場	<0.02 μG broadbａnd RMSd>

隔振器設(shè)計、尺寸、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全	符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
主動隔振元件	最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號，其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷
被動隔振元件	單個硬質(zhì)各向同性彈性體（無需壓縮空氣源）
振動傳感器元件	向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測量隔振器下方的地面振動，并提供與振動運動速度成正比的電壓
主動反饋控制回路	在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動
隔振器尺寸（寬x深x高）	11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm
隔振器重量	75磅（34千克）
工作溫度	50° - 90° F 10° - 32° C
儲存溫度	-40° - 130° F -40° - 55° C
濕度	80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C
系統(tǒng)電源要求	100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC；<600 W 符合CE標(biāo)準(zhǔn)
地面位移	<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
每個系統(tǒng)的隔振器數(shù)量	至少3個
可選附件	層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調(diào)平裝置、抗震裝置、提升罩

DC-2020控制器規(guī)格

尺寸（寬x深x高）	19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm
重量	6.3磅（2.9千克）
處理器	150/75 MHz雙核
采樣率	10 kHz
模擬輸出	16個通道
模擬輸入	16個通道
狀態(tài)燈	單個LED
前面板端口	1個串行USB 2.0 1個串行Micro-USB 1個以太網(wǎng)RJ-45 2個BNC
后面板端口	1個串行USB 2.0 1個以太網(wǎng)RJ-45 1個RS-232 DB-9傳統(tǒng)串行，用于傳統(tǒng)的STACIS 2100隔振器
用戶界面	前面板液晶顯示屏超級終端上的字符菜單適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI 嵌入式以太網(wǎng)GUI