名稱

內容

測量

范圍

Z軸

（垂直）

160μm

X軸

（水平）

17.5mm

分辨率

Z軸

（垂直）

0．002μm/±20μm

0．004μm/±40μm

0．008μm/±80μm

測量

項目

參數

Ra Rz==Ry(JIS) Rq Rt Rmax

Rp Rv R3z R3y Rz(JIS)

Rs Rsk Rku Rsm Rmr

RPc Rk Rpk Rvk Mr1 Mr2

標準

ISO,ANSI,DIN,JIS

圖形

支承率曲線，粗糙度輪廓，直接輪廓

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln= lr×n n=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm/2μm針尖半徑

測力

<>

導頭

硬質合金，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25, Vt=0.135mm/s

lr=0.8, Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5, Vt=1mm/s

返回 Vt=1mm/s

示值精度

0.001μm

示值誤差

±（5nm+10%A）A:多刻線樣板參數Ra的標準值（不大于±10%）

示值重復性（變動性）

不大于3%

殘余輪廓

不大于0.010μm

電源

內置鋰離子充電電池，用DC5V,800mA充電器充電

外形尺寸

158x63.5x46mm

重量

約300g

工作環(huán)境

溫度：- 20℃ ~ 40℃

濕度：< 90%="">

儲存運輸環(huán)境

溫度：- 40℃ ~ 60℃

濕度：< 90%="">