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詳細(xì)介紹
采用安全的LED光源的反射型晶圓定位傳感器
|
 ※1 |  ※2 |
| ※1 | EMC指令 |
|---|---|
| ※2 | Recognition認(rèn)證 |
特點(diǎn)
安全性的LED式
| 以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過(guò)FOUP直射操作人員，十分危險(xiǎn)。 |  |
亦可檢測(cè)玻璃晶圓
| M-DW1以反射光的位置來(lái)檢測(cè)，不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。 |  |
可檢測(cè)涂氮晶圓
氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì)，吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。因此，對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無(wú)法檢測(cè)。
而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。
0.5ms的高速反應(yīng)
實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置檢測(cè)
| 利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過(guò)反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。 |  |
可從四個(gè)方向引出電纜
| 傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜。可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。 |  |
內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型
| 尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。 |  |
種類
| 型號(hào) | 形狀 | 中心檢測(cè)距離 | 檢測(cè)物體 | 輸出 |
|---|---|---|---|---|
| M-DW1 |  | 45mm | 3以上的半導(dǎo)體晶圓 | NPN輸出／PNP輸出通過(guò)切換開關(guān)選擇 |
規(guī)格
| 種類 | LED式反射型 | |
| 型號(hào) | M-DW1 | |
| 中心測(cè)量距離 | 45mm | |
| 檢測(cè)物體 | 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2) | |
| 可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 | 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3) | |
| 檢測(cè)角度 | 12.5±5°(注4) | |
| 晶圓間距 | 間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5) | |
| 適用晶圓盒 | SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒 | |
| 電源電壓 | 12?24V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下 | |
| 消耗電流 | 65mA以下 | |
| 輸出 | NPN輸出／PNP輸出 可由切換開關(guān)選擇 NPN開路集電極晶體管 ?流入電流：100mA ?外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間) ?剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時(shí)) 0.4V以下(流入電流為16mA時(shí)) PNP開路集電極晶體管 ?源電流：100mA ?外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間) ?剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時(shí)) 0.4V以下(源電流為16mA時(shí)) | |
| 輸出動(dòng)作 | 可用切換開關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON | |
| 短路保護(hù) | 裝備(自動(dòng)復(fù)位) | |
| 反應(yīng)時(shí)間 | 500μs以下 | |
| 工作狀態(tài)指示燈 | 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起) | |
| 穩(wěn)定指示燈 | 綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈) | |
| 定時(shí)器功能 | 裝備約2ms固定斷開延遲定時(shí)器 有效/無(wú)效切換式 | |
| 投光停止輸入 | 信號(hào)條件 ?投光停止：斷開或4?8V ?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.) | |
| 靈敏度切換輸入 | 信號(hào)條件 ?輸入OFF：斷開或4?8V ?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.) | |
| 靈敏度設(shè)定 | 背面教導(dǎo)：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運(yùn)行 檢測(cè)靈敏度切換：本體開關(guān)2bit、4級(jí)或外部輸入的2級(jí)選擇式 | |
| 環(huán) 境 性 能 | 保護(hù)構(gòu)造 | IP20(IEC) |
| 使用環(huán)境溫度 | 0?＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí)：?10?＋70℃ | |
| 使用環(huán)境濕度 | 35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí)： 35?85%RH | |
| 使用環(huán)境照明度 | 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下 | |
| 耐電壓 | AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 | |
| 絕緣電阻 | 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 | |
| 耐振動(dòng) | 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時(shí) | |
| 耐沖擊 | 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回 | |
| 投光元件 | LED(調(diào)制式) | |
| 材質(zhì) | 外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯 | |
| 電纜 | 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長(zhǎng)300mm | |
| 電纜延長(zhǎng) | 0.15mm2 以上的電纜全長(zhǎng)可延長(zhǎng)至10m | |
| 重量 | 本體重量：約75g | |
(注1)：無(wú)指定的測(cè)量條件為使用環(huán)境溫度＝+20℃。
(注2)：檢測(cè)8英寸以下的晶圓時(shí)，可能會(huì)因晶圓間距、定位邊或表面的狀態(tài)等而影響檢測(cè)。
(注3)：對(duì)于經(jīng)研磨后厚度變薄的晶圓，如果其端面呈刀刃狀，可能會(huì)因光線不能從檢測(cè)面向受光方向反射而難以檢測(cè)。
(注4)：晶圓旋轉(zhuǎn)時(shí)，定位邊的跳動(dòng)角度約為±20°。
(注5)：斜向插入8英寸晶圓時(shí)的附近的間距。檢測(cè)帶定位邊的晶圓時(shí)，對(duì)于避開定位邊的檢測(cè)位置，晶圓間距變得更窄，檢測(cè)信號(hào)無(wú)法分解，變?yōu)檫B續(xù)的寬幅信號(hào)。
尺寸圖
- 單位mm
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