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參考價(jià)	面議

采用安全的LED光源的反射型晶圓定位傳感器

※1

※2

※1	EMC指令
※2	Recognition認(rèn)證

特點(diǎn)

安全性的LED式

以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險(xiǎn)。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

亦可檢測玻璃晶圓

M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

可檢測涂氮晶圓

氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測。

0.5ms的高速反應(yīng)

實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。

基于2段受光元件的高精度位置檢測

利用反射光量檢測時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測結(jié)果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

可從四個(gè)方向引出電纜

傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜?？筛鶕?jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。

內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。

種類

型號	形狀	中心檢測距離	檢測物體	輸出
M-DW1		45mm	3以上的半導(dǎo)體晶圓	NPN輸出／PNP輸出通過切換開關(guān)選擇

規(guī)格

種類		LED式反射型
型號		M-DW1
中心測量距離		45mm
檢測物體		3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
可對應(yīng)檢測面		有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度		12.5±5°(注4)
晶圓間距		間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(注5)
適用晶圓盒		SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓		12?24V DC±10%　脈動(dòng)P-P10%以下
消耗電流		65mA以下
輸出		NPN輸出／PNP輸出　可由切換開關(guān)選擇 NPN開路集電極晶體管 ?流入電流：100mA ?外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間) ?剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時(shí)) 　　　　　　　 0.4V以下(流入電流為16mA時(shí)) PNP開路集電極晶體管 ?源電流：100mA ?外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間) ?剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時(shí)) 　　　　　　　 0.4V以下(源電流為16mA時(shí))
	輸出動(dòng)作	可用切換開關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON
	短路保護(hù)	裝備(自動(dòng)復(fù)位)
反應(yīng)時(shí)間		500μs以下
工作狀態(tài)指示燈		橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)
穩(wěn)定指示燈		綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)
定時(shí)器功能		裝備約2ms固定斷開延遲定時(shí)器　有效/無效切換式
投光停止輸入		信號條件 ?投光停止：斷開或4?8V ?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
靈敏度切換輸入		信號條件 ?輸入OFF：斷開或4?8V ?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
靈敏度設(shè)定		背面教導(dǎo)：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運(yùn)行檢測靈敏度切換：本體開關(guān)2bit、4級或外部輸入的2級選擇式
環(huán) 境性能	保護(hù)構(gòu)造	IP20(IEC)
	使用環(huán)境溫度	0?＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí)：?10?＋70℃
	使用環(huán)境濕度	35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí)： 35?85%RH
	使用環(huán)境照明度	白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下
	耐電壓	AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間
	絕緣電阻	所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
	耐振動(dòng)	頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時(shí)
	耐沖擊	耐久98m/s²(約10G) XYZ方向各5回
投光元件		LED(調(diào)制式)
材質(zhì)		外殼：ABS及SUS301、透鏡：丙烯
電纜		0.15mm² 5芯橡皮電纜，長300mm
電纜延長		0.15mm² 以上的電纜全長可延長至10m
重量		本體重量：約75g

(注1)：無指定的測量條件為使用環(huán)境溫度＝+20℃。
(注2)：檢測8英寸以下的晶圓時(shí)，可能會(huì)因晶圓間距、定位邊或表面的狀態(tài)等而影響檢測。
(注3)：對于經(jīng)研磨后厚度變薄的晶圓，如果其端面呈刀刃狀，可能會(huì)因光線不能從檢測面向受光方向反射而難以檢測。
(注4)：晶圓旋轉(zhuǎn)時(shí)，定位邊的跳動(dòng)角度約為±20°。
(注5)：斜向插入8英寸晶圓時(shí)的附近的間距。檢測帶定位邊的晶圓時(shí)，對于避開定位邊的檢測位置，晶圓間距變得更窄，檢測信號無法分解，變?yōu)檫B續(xù)的寬幅信號。

尺寸圖

單位mm

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晶圓檢測晶圓定位傳感器 M-DW1

產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹