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晶圓檢測 LED型晶圓校準(zhǔn)傳感器 HD-T1系列控制器HD-T1C

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  • 型號 HD-T1C
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 北京市

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更新時間:2026-04-07 08:18:02瀏覽次數(shù):48

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產(chǎn)品簡介

使用安全的LED光確保分辨率30μm下的高精度檢測

詳細(xì)介紹

使用安全的LED光確保分辨率30μm下的高精度檢測

LED型晶圓校準(zhǔn)傳感器  HD-T1
CE※1
※1 EMC指定適用

特點(diǎn)

無需任何安全措施

使用安全的紅色LED作為光源,無需任何繁雜的安全措施。無需使用激光時的保護(hù)罩,在美國使用時不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。

施工簡便

使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降至限度,維護(hù)輕松。

施工簡便

低消耗電流70mA以下

檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的低功耗。

高分辨率30μm

雖然使用紅色LED作為光源,但仍然具有激光傳感器同樣的高性能,因此可實(shí)現(xiàn)高精度檢測。

無需光軸調(diào)整

投、受光部一體型,無需繁瑣的光軸調(diào)整。并且,檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域,可對應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。

配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能

模擬輸出(1~5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外,還具備方便的偏移調(diào)整功能,可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。

配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能

種類

檢測頭

形狀 檢測距離 檢測寬度 型號
30mm(固定)
(注1)
30mm HD-T1030
(注1): 出廠時固定于安裝基座狀態(tài)下的值。

控制器

檢測頭與控制器必須配套使用。

形狀 型號 輸出
HD-T1C 模擬電壓
?輸出電壓:1~5V

規(guī)格

檢測頭

型號 HD-T1030
適用控制器 HD-T1C
檢測寬度 30mm(直線性按照28mm的寬度規(guī)定)
檢測距離 30mm(固定)(注2)
環(huán)
境
性
能
保護(hù)構(gòu)造 IP40(IEC)
使用環(huán)境溫度 0~+40℃(注意不可結(jié)露),存儲時:-20~+55℃
使用環(huán)境濕度 35~85%RH、存儲時:35~85%RH
使用環(huán)境照明度 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度3,000lx以下
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振動 頻率10~150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時
耐沖擊 加速度490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次
投光元件 紅色LED(投光波峰波長:650nm)
受光元件 光電二極管
材質(zhì) 本體外殼:PEI、前罩部:玻璃、安裝基座:鋁
電纜 耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器
重量 本體重量:約150g

(注1): 無指定的測量條件為使用環(huán)境溫度+20℃。
(注2): 出廠時固定于安裝基座狀態(tài)下的值。

控制器

型號 HD-T1C
適用檢測頭 HD-T1030
電源電壓 24V DC±10% 脈動P-P10%以下
消耗電流 70mA以下(含檢測頭)
模擬輸出 模擬電壓
?輸出電壓:1±0.5V(全遮光時)~5±0.5V(全入光時)
?輸出阻抗:75Ω
反應(yīng)時間 0.5ms以下(8V/ms以上)
分辨率 30μm(注2)
直線性 ±1.0%F.S.(檢測位置中心的檢測寬度28mm)(注3)
溫度特性 ±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3)
量程調(diào)整功能 裝備15圈無限制調(diào)節(jié)器,可調(diào)整模擬輸出電壓的量程
轉(zhuǎn)移調(diào)整功能 裝備15圈無限制調(diào)節(jié)器,可調(diào)整模擬輸出電壓的偏置
預(yù)熱時間 30分以上
環(huán)
境
性
能
保護(hù)構(gòu)造 IP40(IEC)
使用環(huán)境溫度 0~+40℃(注意不可結(jié)露),存儲時:-20~+70℃
使用環(huán)境濕度 35~85%RH,存儲時:35~85%RH
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振動 頻率10~150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時
耐沖擊 頻率490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次
材質(zhì) 本體外殼:耐熱ABS,連接器外罩部:耐熱ABS,調(diào)節(jié)器外罩部:聚碳酸酯
電纜 0.22mm2 3芯耐熱PVC電纜,長0.3m
電纜延長 0.3mm2以上的電纜全長可延長至3m
重量 本體重量:約85g

(注1): 無指定的測量條件為使用環(huán)境溫度+20℃。
(注2): 分辨率為模擬輸出的峰值~峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。
(注3): 檢測頭和控制器組合后測定時的代表示例。

尺寸圖

  • 單位mm

HD-T1030

檢測頭

HD-T1030

HD-T1C

控制器

HD-T1C

用途

檢測晶圓的偏心、凹陷
檢測晶圓的偏心、凹陷

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