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更新時(shí)間:2024-01-17 14:47:29瀏覽次數(shù):331

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產(chǎn)品簡介

蔡司Crossbeam系列的FIB-SEM結(jié)合了場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)出色的成像和分析性能,和新一代聚焦離子束(FIB)優(yōu)異的加工性能

詳細(xì)介紹

蔡司Crossbeam系列的FIB-SEM結(jié)合了場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)出色的成像和分析性能,和新一代聚焦離子束(FIB)優(yōu)異的加工性能。無論
是在科研或是工業(yè)實(shí)驗(yàn)室,您都可以在一臺(tái)設(shè)備上實(shí)現(xiàn)多用戶同時(shí)操作。得益于蔡司Crossbeam系列模塊化的平臺(tái)設(shè)計(jì)理念,您可以根據(jù)自己需求的
變化隨時(shí)升級(jí)儀器系統(tǒng)。在加工、成像或是實(shí)現(xiàn)三維重構(gòu)分析時(shí),Crosssbeam系列都將大大提升您的應(yīng)用體驗(yàn)。
使用Gemini電子光學(xué)系統(tǒng),您可以從高分辨率SEM圖像中提取真實(shí)樣本信息
使用新的lon-sculptor FIB鏡筒以及全新的樣品處理方式,您可以大限度地提高樣品質(zhì)量、降低樣品損傷,同時(shí)大大加快實(shí)驗(yàn)操作過程
使用lon-sculptor FIB的低電壓功能,您可以制備超薄的TEM樣品,同時(shí)將非晶化損傷降到非常低
使用Crossbeam 340的可變氣壓功能
或使用Crossbeam 550實(shí)現(xiàn)更苛刻的表征,大倉室甚至為您提供更多選擇
EM樣品制備流程
按照以下步驟,高效率、高質(zhì)量地完成制樣
Crossbeam 為制備超薄、高質(zhì)量的TEM樣品提供了一整套解決方案,您可以高效地準(zhǔn)備樣品,并在TEM或STEM上實(shí)現(xiàn)透射成像模式的分析。
1.自動(dòng)定位-感興趣的區(qū)域(ROI)輕松導(dǎo)航
您可以不費(fèi)功夫地找到感興趣的區(qū)域(ROI)
使用樣品交換室的導(dǎo)航相機(jī)對(duì)樣品進(jìn)行定位
集成的用戶界面使得您可以輕松定位到ROI
在SEM上獲得寬視野、無畸變的圖像
2.自動(dòng)制樣-從體材料開始制備薄片樣品
您可以通過簡單的三個(gè)步驟制備樣品:ASP(自動(dòng)樣品制備)
定義參數(shù)包括漂移修正,表面沉積以及粗切、精細(xì)切割
FIB鏡筒的離子光學(xué)系統(tǒng)保證了工作流程具有的通量
將參數(shù)導(dǎo)出為副本,進(jìn)而可以重復(fù)操作實(shí)現(xiàn)批量制備
3.輕松轉(zhuǎn)移-樣品切割、轉(zhuǎn)移機(jī)械化
導(dǎo)入機(jī)械手,將薄片樣品焊接在機(jī)械手的針尖上
將薄片樣品與樣品基體連接部分進(jìn)行切割,使其分離
薄片隨后會(huì)被提取并轉(zhuǎn)移到TEM柵網(wǎng)上
4.樣品減薄-獲取高質(zhì)量TEM樣品至關(guān)重要的一步
儀器在設(shè)計(jì)上允許用戶實(shí)時(shí)監(jiān)控樣品厚度,并最終達(dá)到所需求的目標(biāo)厚度
您可以同時(shí)通過收集兩個(gè)探測器的信號(hào)判斷薄片厚度,一方面可以通過SE探測器以高重復(fù)性獲取最終厚度,另一方面可以通過Inlens SE探測器控
制表面質(zhì)量

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