工作臺
X坐標行程：200mm
Y坐標行程：100mm
X、Y坐標分辨率：0.0002mm
測量準確度：（1+L/100）μm，其中
      L為測量長度，單位：mm
平工作臺尺寸（mm）：260×270
圓工作臺直徑：ф213mm
圓工作臺角度分劃范圍：0°~ 360°
圓工作臺角度分度值：30"
主顯微鏡立柱
傾斜范圍：±12°
傾斜角度分度值：30'
測角目鏡
角度分劃范圍：360°
角度分度值：1'
輪廓目鏡
角度分劃范圍：±7°
角度分度值：10'
頂針裝置
頂針間的夾緊長度：700mm
頂針間能容納的直徑：ф100mm
高頂針架
高頂針架夾持長度：200mm
高頂針架能容納的直徑：ф250mm
數(shù)顯分度頭
數(shù)顯分度頭角度分劃范圍：0°~ 360°
數(shù)顯分度頭角度分度值：5″
光學定位器
測量范圍（mm）：5 ~ 200
測桿垂直方向擺動范圍：±3°
最小探測孔徑：ф5mm
探測深度：15mm
定位變動性： <1μm
測量力（N）：0.1±0.03
儀器主機外形尺寸(mm)
長×寬×高=1300×1250×800
儀器重量
450kg
環(huán)境要求
室內溫度20℃±1℃，相對濕度小于60%
物鏡：