工作臺(tái)
X坐標(biāo)行程：200mm
Y坐標(biāo)行程：100mm
X、Y坐標(biāo)分辨率：0.0002mm
測(cè)量準(zhǔn)確度：（1+L/100）μm，其中
      L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位：mm
平工作臺(tái)尺寸（mm）：260×270
圓工作臺(tái)直徑：ф213mm
圓工作臺(tái)角度分劃范圍：0°~ 360°
圓工作臺(tái)角度分度值：30"
主顯微鏡立柱
傾斜范圍：±12°
傾斜角度分度值：30'
測(cè)角目鏡
角度分劃范圍：360°
角度分度值：1'
輪廓目鏡
角度分劃范圍：±7°
角度分度值：10'
頂針裝置
頂針間的夾緊長(zhǎng)度：700mm
頂針間能容納的直徑：ф100mm
高頂針架
高頂針架夾持長(zhǎng)度：200mm
高頂針架能容納的直徑：ф250mm
數(shù)顯分度頭
數(shù)顯分度頭角度分劃范圍：0°~ 360°
數(shù)顯分度頭角度分度值：5″
光學(xué)定位器
測(cè)量范圍（mm）：5 ~ 200
測(cè)桿垂直方向擺動(dòng)范圍：±3°
最小探測(cè)孔徑：ф5mm
探測(cè)深度：15mm
定位變動(dòng)性： <1μm
測(cè)量力（N）：0.1±0.03
儀器主機(jī)外形尺寸(mm)
長(zhǎng)×寬×高=1300×1250×800
儀器重量
450kg
環(huán)境要求
室內(nèi)溫度20℃±1℃，相對(duì)濕度小于60%
物鏡：