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CVD系統(tǒng)爐

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更新時間:2025-07-18 10:20:43瀏覽次數(shù):144

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產(chǎn)品簡介

真空CVD管式爐是由:真空管式爐、氣體流量計、真空泵三部分構(gòu)成

詳細(xì)介紹

真空CVD管式爐是由:真空管式爐、氣體流量計、真空泵三部分構(gòu)成。廣泛用于:真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長、電池材料干燥燒結(jié)等場所。該系統(tǒng)技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠;該系統(tǒng)是材料實驗室的理想設(shè)備之一。
真空CVD管式爐 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃
內(nèi) 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度 。真空密封系統(tǒng) 由兩個不銹鋼密封法蘭,極限真空度≤10-2 Pa or 10-4 Pa
真空CVD管式爐有四路供氣系統(tǒng) 可以用于控制一種到四種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架上,管式爐可以放在上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥。結(jié)合管式爐,它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
真空CVD管式爐可選配質(zhì)量流量控制器跟浮子流量計。
質(zhì)量流量控制器:
工作電壓:185~245V/50Hz
輸出功率:18W
控制范圍:
控制器1:1~199 SCCM
控制器2:1~499 SCCM
工作溫度:5~45 ?C
壓力:3x106 Pa
準(zhǔn)確度:±1% FS
控制閥及管線連接等
浮子流量計:流量速率在25to250ml/min

管式爐技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品用途:高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測。粉末冶金行業(yè)以及義齒加工行業(yè)的烘烤、氧化鋯盤預(yù)燒結(jié)等。根據(jù)加熱區(qū)大小,進行小試,中試,批量生產(chǎn)。

產(chǎn)品型號 MXG1200-60 加熱區(qū)尺寸 440mm恒溫150mm
極限溫度 1200℃ 工作溫度 ≤1100℃
石英管 60*54*1000mm 加熱溫區(qū)數(shù) 1
表面溫度 <60℃ 控溫精度 ±1℃
設(shè)備功率 4 KW 工作電壓 單相220V
開門方式

上開式

殼體結(jié)構(gòu)

雙層,殼體間風(fēng)扇制冷,可使?fàn)t體表面快速降溫。

節(jié)能效果

★ 保溫時僅需40%功率

數(shù)據(jù)顯示模式 LED數(shù)顯儀表

★可選配豪華型智能觸摸屏儀表,實時曲線顯示,
也可用U盤導(dǎo)出數(shù)據(jù),在電腦上安裝查看軟件

控制模式

智能PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能

溫度曲線

30段可編程控制,可設(shè)置30段升降溫程序

測溫元件

K型熱電偶

加熱元件

優(yōu)質(zhì)摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲環(huán)形加熱,溫場均勻,能耗低升溫速率建議:10℃/Min Max:20℃/Min

爐膛保溫材料

1500型高純氧化鋁微晶體纖維,保溫性能好

售后服務(wù)

12個月質(zhì)保(相關(guān)易耗件除外),終身保修

包裝方式

三合板木質(zhì)包裝箱

電 源 線

標(biāo)配2米
若需更長,請購買設(shè)備時提前說明,需另購

坩 堝

我司有各種規(guī)格的坩堝,需要可咨詢業(yè)務(wù)人員

設(shè)備外形尺寸

620mm(長)*420mm(寬)*520mm(高)

設(shè)備重量

50Kg

控制方式擴展

★ 可選配485轉(zhuǎn)換接口,實現(xiàn)與計算機相互連接。選配專用的電腦控制系統(tǒng)來完成與單臺或多達(dá)200臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。為客戶提供方便,本公司也可以代購電腦。

隨機配件

防護手套1雙;坩堝鉗1把;剛玉舟1只;石英管;爐塞;爐勾;6號內(nèi)六角(法蘭專用); 法蘭一套;配套氣管;高溫密封圈8個;產(chǎn)品說明書1份;儀表說明書1份;保修證書1份。

配件圖片
剛玉舟 石英管

爐塞

不銹鋼法蘭

高溫密封圈
非標(biāo)訂制

★此型號適合小型實驗用
★若批量生產(chǎn)用,可根據(jù)實際需要訂制更大爐膛,最小1L,幾個立方,具體咨詢業(yè)務(wù)人員。

使用注意事項

管式爐使用一段時間后,爐膛會出現(xiàn)微小的裂紋,這屬于正?,F(xiàn)象, 不會影響使用,可聯(lián)系我司售后部門索取免費氧化鋁涂層進行修補。

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