Wafer Probe Station射頻探針臺

總體規(guī)格特點(diǎn):
●   重量：50kg（含顯微鏡）
●  尺寸：590mm寬*500mm長*700mm高（含顯微鏡）
●  優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì)，便于工程師長時(shí)間舒適的操作
 
顯微鏡操控規(guī)格:
●   在探針臺右側(cè)有大搖桿，提起90度后，可以使顯微鏡快速傾仰抬起，方便在測試時(shí)更換物鏡鏡頭
●   顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動，移動范圍2"X2"，精度1μm
●   顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便精確調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度1μm
 
臺面規(guī)格:
●  探針臺臺面平整度：5μm
●  探針臺左側(cè)有搖杠可以控制臺面快速上下升降6mm。在探針臺加裝探針卡點(diǎn)測wafer時(shí)方便對die的重選擇
●  探針臺右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿，搖動時(shí)可使臺面線性上下升降，升降范圍25mm，精度1μm。在探針臺加裝探針卡點(diǎn)測wafer時(shí)方便對die的復(fù)位
 
卡盤（載物臺，即圖中的chuck）規(guī)格:
●  6" 卡盤，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑250μm-1mm（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。钚】梢晕〕叽鐬?.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為6"X6"
●  卡盤可360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕
●  卡盤X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動，移動范圍為6"X6"，移動精度為1μm，為方便點(diǎn)測的穩(wěn)定性，帶有鎖住功能。如果點(diǎn)測6"wafer的時(shí)候，可以保證6"wafer的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測到

性能：
● 鍍金真空吸附卡盤: 對應(yīng)可選4" ，6"，8"，12"產(chǎn)品
● 大旋鈕移動卡盤臺，X-Y方向行程：6"-6"
● 卡盤快速拉出裝置便于放置/拿去樣品
● 線性無回差調(diào)節(jié)
● 臺面快速升/降行程：6mm，精調(diào)升/降行程：25mm
● 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
● 卡盤平整度: 10um
● 卡盤旋轉(zhuǎn)角度：0~360°
● Chuck Theta: ±15?
● 大旋鈕滑臺X-Y方向精度: 1um
● 臺面上/下升降搖桿/旋鈕
● 顯微鏡傾仰裝置
 
附件：
● 顯微鏡傾仰裝置
● 射頻測試探頭/電纜
● 有源探頭
● 低電流/電容測試
● 高壓測試
● 激光修復(fù)
● CCD/數(shù)字相機(jī)，USB接口
● 探針卡/封裝/PCB板夾具
● 加熱裝置
● 防震桌
● 屏蔽箱
● 顯微鏡暗場/Normarski 檢測