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DX-60霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)

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產(chǎn)品簡介

DX-60霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標準樣品、系統(tǒng)軟件組成。為本儀器系統(tǒng)專門研制的DX-320效應(yīng)儀將恒流源,六位半微伏表及霍爾測量復雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體,大大減化了實驗的連線與操作。DX-320可單獨做恒流源、微伏表使用。用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導體材料電學特性必須......

詳細介紹

  本儀器系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標準樣品、系統(tǒng)軟件組成。為本儀器系統(tǒng)專門研制的DX-320效應(yīng)儀將恒流源,位半微伏表及霍測量復雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體,大大減化了實驗的連線與操作。DX-320可單獨做恒流源、微伏表使用。用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導體材料電學特性必須預先掌控的,因此霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是理解和研究半導體器件和半導體材料電學特性的工具。 實驗結(jié)果由軟件自動計算得到,可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。

 

 

可測試材料:

 

序號

測試樣品材料

測試樣品參數(shù)

測試樣品展示

樣品1

單晶Si

樣品厚度:0.043 cm

測試電流:1 mA

霍爾電壓:3.903 mV

霍爾系數(shù):3356.34 cm³/C

載流子濃度:1.86*10^15

遷移率:233.115 cm2/Vs

電阻率:14.397 Ω•cm

樣品2

砷化鎵GaAs

樣品厚度:0.0002 cm

測試電流:0.01 mA

霍爾電壓:-28.2384 mV

霍爾系數(shù):-11295.36 cm³/C

載流子濃度:5.53*10^14

遷移率:6797.295 cm2/Vs

電阻率:1.6617 Ω•cm

樣品3

氮化鎵GaN

樣品厚度:0.0004 cm

測試電流:20 mA

霍爾電壓:-7.121 mV

霍爾系數(shù):-2.848 cm³/C

載流子濃度:2.19*10^18

遷移率:238.245 cm2/Vs

電阻率:0.01195 Ω•cm

樣品4

透明氧化物

樣品厚度:0.053 cm

測試電流:0.01 mA

霍爾電壓:-18.2332 mV

霍爾系數(shù):-1939058 cm³/C

載流子濃度:3.23*10^12

遷移率:498.7153 cm2/Vs

電阻率:3862.74 Ω•cm

樣品5

合金

樣品厚度:0.108 cm

測試電流:20 mA

霍爾電壓:-0.0011 mV

霍爾系數(shù):-0.1152 cm³/C

載流子濃度:6.02*10^18

遷移率:132.7011 cm2/Vs

電阻率:0.00084 Ω•cm

樣品6

石墨烯

樣品厚度:3.40*10^-8cm

測試電流:0.3 mA

霍爾電壓:8.4843 mV

霍爾系數(shù):0.0191 cm³/C

載流子濃度:3.25*10^20

遷移率:153.3448 cm2/Vs

電阻率:0.00012Ω•cm

樣品7

銻化銦InSb

 

樣品厚度:0.0001 cm

測試電流:10 mA

霍爾電壓:-998.7382 mV

霍爾系數(shù):-1999.7476 cm³/C

載流子濃度:3.13*10^16

遷移率:34305.52 cm2/Vs

電阻率:171.74 Ω•cm

 

儀器介紹:

 

序號

名稱

主要技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品圖片

儀器1

DX-50

電磁鐵

1、磁場強度(Magnet Flux Density)

N,S間距10mm時磁場1070mT

N,S間距20mm時磁場678mT

N, S間距30mm時磁場500mT

N, S間距40mm時磁場 378mT

N, S間距50mm時磁場 293mT

2、磁場均勻區(qū)(Uniformity):間隙10mm時直徑10mm范圍均勻度為1%

3、電磁鐵參數(shù)

3.1、極柱直徑φ:50mm

3.2、極頭直徑φ:50mm

3.3、極頭間隙可調(diào)范圍:0 ~ 80mm

3.4、線圈內(nèi)阻:約為12.0Ω

3.5、磁場穩(wěn)定性:±0.3Gs(24h時間內(nèi))

3.6、自重:30Kg

儀器2

DXF-2031

恒流源

1、輸出電壓:有效輸出電壓范圍 0V—60V DC,開路輸出電壓:80V ± 5V @5A

2、輸出電流: –5A ~ +5A DC(電流線性漸變速率0.01A/s—2A/s連續(xù)可選,掃描電流設(shè)置范圍0.1mA—5A DC)

3、高步進分辨率0.1mA(1/50000 F.S.)

4、準確度 ±0.2%設(shè)置值+5mA)、穩(wěn)定度優(yōu)于±0.1% @5A

5、噪聲/紋波:5mA RMS 典型值 @5A

6、 RS-232接口可數(shù)控極性轉(zhuǎn)換,方便進行自動化霍爾效應(yīng)試驗過程

7、交互能力: 白色背光FSTN LCD顯示器,的LED狀態(tài)指示器,與顯示器和指示器配合的3´4鍵交互型功能鍵盤操作,標準配備RS-232C計算機接口和易用的接口特性,完備的計算機接口命令集,掃描過程中的定時連續(xù)觸發(fā)輸出功能

8、負載保護功能:儀器掉電保護、儀器過溫保護、儀器過流保護、儀器過功率保護

儀器3

DX-1300

高斯計

1、量程:±1Gs ~ ±30kGs

2、分辨率:1Gs

3、精度:讀數(shù)的±0.5%±0.05%量程

4、測磁傳感器厚度為1.0mm,長度為100mm

5、人機交互:明亮的寬屏高清液晶屏,4¾位顯示,標準9針“D”型RS232連接器

6、自動化:完備的計算機指令,可通過數(shù)據(jù)通訊,實時在電腦界面監(jiān)測并控制測試樣品周圍的磁場環(huán)境

儀器4

DX-320

樣品恒流源

1、電流輸出基本分辨力0.0001uA,電壓測量基本分辨力0.0001mV

2、輸出量程:50.00nA-50.00mA中間可以0.1nA步進連續(xù)可調(diào)

3、測量電壓:0~±3V大量程測試電壓滿足高阻芯片的測試

4、內(nèi)置自動變換的四相陣卡,可實現(xiàn)霍爾效應(yīng)范德堡法的自動測量

5、良好的人機交互界面,方便使用者進行手動調(diào)節(jié)

6、完備的上位機指令,可與電腦進行通訊完成各項操作

儀器5

DX-35

樣品臺

1、樣品臺可支持30*30mm尺寸的樣品進行測試

2、四探針法壓點使得操作和樣品觸點接觸更方便牢固

3、外部安裝遮光部件,使得測試材料更加穩(wěn)定

4、樣品臺固定在永磁鐵支架上,使得每次測量樣品都處于同一位置,保證更好的測量的重復性

5、樣品臺插針通過導線與DX-320儀器進行信號的連接以實現(xiàn)范德堡法的穩(wěn)定測量

儀器7

上位機軟件

1、可實現(xiàn)一鍵自動化測量,檢測開始后無需人員進行操作即可進行測量。

2、在軟件中進行設(shè)置可進行自動變溫測量。

3、軟件中可進行I-V曲線、B-V曲線

4、軟件內(nèi)進行的模塊化設(shè)計,方便客戶使用以及進行相關(guān)功能的開發(fā)

5、實驗結(jié)果測量完成,數(shù)據(jù)將暫時保存在軟件中,如需要長期保存可將數(shù)據(jù)導出至EXCEL表格中,方便后期的數(shù)據(jù)處理

6、提供半導體所霍爾效應(yīng)標準測試樣片及數(shù)據(jù):1套

儀器8

配套儀器裝置

  1. 高斯計傳感器固定支架:全鋁非導體支架,可上下左右前后進行調(diào)節(jié),方便用戶根據(jù)需求調(diào)節(jié)傳感器位置

2、磁場傳感器探頭固定裝置:全鋁非導體支架5-70mm可調(diào)

3、溫度測量與控制連接線固定裝置

4、制作樣品上歐姆接觸焊點的相應(yīng)工具:電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等

5、232轉(zhuǎn)USB串口線,實現(xiàn)測試儀器與上位機軟件之間的通訊

 

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