詳細介紹
DX-3000 霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是集霍爾效應(yīng)、磁阻、I-V特性等測試于一體的全自動化測試系統(tǒng)。系統(tǒng)全面地考慮了儀表配置、電路接線(包括室溫和低溫的接線)等用戶經(jīng)常忽略的問題,選取了美國Keithley的電測量儀表,磁場根據(jù)用戶需要采用電磁鐵或無液氦超導(dǎo)磁體, 配備靈巧的測量樣品桿,加上全自動化的專用測試軟件,能讓用戶快速方便地進行樣品測試,并獲得準(zhǔn)確可靠的數(shù)據(jù)。 此外、系統(tǒng)還有多種低溫選件,并可以根據(jù)用戶現(xiàn)有的儀表和對軟件的特殊要求進行特殊改造, 是廣大科研工作者對樣品進行電輸運性質(zhì)研究的有力工具。
主要配置
U.S.Keithley 設(shè)備
| 系統(tǒng) (電阻范圍) | 電源 | 電壓表 | 電流表 | 主機 | 矩陣卡片 | 電磁鐵 | 通訊接口 | ||||
| 2400 | 6220 | 2700 | 2182A | 6485 | 7001 | 7709 | 7012 | 7152 | 6514 | 488B | |
| 標(biāo)準(zhǔn) (10mΩ-10MΩ) | 1 |
| 1 |
|
|
| 1 |
|
|
| 1 |
| 高靈敏度 (0.1mΩ-10MΩ) | 1 |
|
| 1 |
| 1 |
| 1 |
|
| 1 |
| 高電壓和阻抗 (0.1mΩ-100GΩ) |
| 1 |
| 1 | 1 | 1 |
|
| 2 | 2 | 1 |
主要部分
| 磁場范圍 | 磁鐵 | 水冷設(shè)備 | 磁場測量裝置 | 電源 | 軟件 |
| 0-1T@10mm | DX-100 | 不帶 | DX-160 高斯計 精度:0.2% | DX-2030 1KW | 全自動數(shù)據(jù)處理和繪圖 |
| 0-2.4T@10mm | DX-130 | 不帶 | DX-180高斯計 精度:0.05% | DX-10030 3KW | 全自動數(shù)據(jù)處理和繪圖 |
| 0-2.6T@10mm | DX-178 | 8KW水冷 | DX-180高斯計 精度:0.05% | DX-10050, 5KW | 全自動數(shù)據(jù)處理和繪圖 |
低溫部分(選配)
| 溫度范圍 | 冷卻 | 溫度控制設(shè)備 |
| 80-450K | 液態(tài)氮恒溫器 | TC202 |
| 4-500K | 循環(huán)冷水機 | TC202 |
| 1.6-325K | 低溫系統(tǒng) | TC202 |
| 45-325K | CTI小型冷水機 | TC202 |
主要特點
- 使用插樣卡片,方便安裝。
- 一種標(biāo)準(zhǔn)配置可以同時測量兩個樣品,通過添加可選設(shè)備可以同時測量4個樣品;
- 電阻測量范圍:0.1mΩ-100GΩ(高電壓和阻抗系統(tǒng))
- 不同的電流和磁場,不同的測試系統(tǒng)和電阻測量
- 測試和計算過程由軟件自動完成,同時馬上提供數(shù)據(jù)和曲線,節(jié)省時間。
- 系統(tǒng)長時間提供高穩(wěn)定磁場。零磁場可以平滑。
- 電磁鐵電源內(nèi)置精密高斯計,現(xiàn)場控制速度快
- 選擇低溫器件,霍爾效應(yīng)和電阻測量可以在不同溫度下進行
可測量材料
- 半導(dǎo)體材料:SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe和鐵氧體材料等
- 低阻抗材料:石墨烯、金屬、透明氧化物、弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR材料等
- 高阻抗材料:半絕緣的GaAs, GaN, CdTe等
主要功能
- 測量霍爾效應(yīng),電阻,I-V曲線和R-T曲線
- 可測參數(shù):霍爾效應(yīng) - 薄層電阻,電阻率,霍爾系數(shù),導(dǎo)電類型,霍爾遷移率,載流子濃度;
- 磁阻效應(yīng):R, △R, (△R/R)%, (△R/R0)%
- I-V曲線: 不同溫度和磁場的I-V曲線
- R-T曲線:固定磁場,不同溫度下,電阻變化曲線
- R-H曲線:固定溫度,不同磁場下,電阻變化曲線
主要技術(shù)參數(shù)
樣品尺寸
- 小尺寸樣品卡:12*12mm2
- 大尺寸樣品卡:50*50mm2
- 探頭樣品卡:1*1mm2-20*30mm2
樣品測試方法
- 霍爾效應(yīng)樣品:Si, GaAs等
- 電阻和I-V樣品:4線或6線法
磁場
| 型號 | DX-100 | DX-130 | DX-180 | ||||||
| 極面直徑 | 60mm(選配) | 100mm(選配) | 120mm(選配) | ||||||
| 氣隙 | 室溫10mm | 液氮恒溫器 24mm | ARS 冷水機 | 室溫10mm | 液氮恒溫器 24mm | ARS 冷水機 | 室溫10mm | 液氮恒溫器 24mm | ARS 冷水機 |
| 磁場 | 1.5T | 0.9T | 0.6T | 2.5T | 1.5T | 1.0T | 2.7T | 2.0T | 1.4T |
| 均勻度 | ±1% | ±1% | ±1% | ||||||
溫度(選配)
標(biāo)準(zhǔn)液氮恒溫器:80k-325k
高溫液氮恒溫器:80-500k
無液氮系統(tǒng):1.6k-325k
液氮恒溫器選項:80-325k
循環(huán)冷水機選項:
標(biāo)準(zhǔn)4K冷水機系統(tǒng):4k-325k
高溫4k冷水機:4k-700k
標(biāo)準(zhǔn)10k冷水機系統(tǒng):10k-325k
高溫10k冷水機:10k-800k
微型冷水機系統(tǒng):45k-325k
電器性能
在以下典型測試條件下:
采樣功耗小于1mV,在此條件下,使勵磁達到系統(tǒng)配置中推薦的電流和電壓;
采樣溫度:295k
樣品座不漏電流
每個測試引線電阻25Ω
測量電阻率(V_out / V_in)的電壓使用效率應(yīng)為0.1。
樣品形狀校正因數(shù):1
磁場和樣品厚度測試不確定度在1%之內(nèi)。
磁場/樣品厚度為1T/mm, 注意所測的載流子濃度大約比例為此值。所以,更強的磁場和更厚的樣品不能提高測試范圍。
| 系統(tǒng) | 標(biāo)準(zhǔn) |
| 電流源 | ±100pA~±0.1A |
| 電壓源 | ±0.1uV~±3V |
| 電流 | ±100pA~±100mA (最小分辨率 100pA) |
| 電壓 | ±0.1uV~±3V (最小分辨率 0.1uV) |
| 電阻 | 10MΩ |
| 最小電阻(VDP) | 40mΩ |
| 最小電阻(HB) | 10mΩ |
| 載流子濃度有 | 1.0E+18 |
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