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詳細介紹
| 電阻率25℃ | >5MΩ﹒cm |
| TOC | <30ppb |
注：若從E-POD取用純水，超純水機可達到以下水質指標
| 顆料* | >0.2um/mL)*<1p/mL |
| 細菌* | <1cfu/mL |
| 熱原(內毒素)** | <0.001 EU/mL |
| RNases** | <0.01ng/mL |
| DNases** | <4pg/mL |
Milli-Q超純水機（從Q-POD取用，超純水/I級水水質）
| 電阻率25℃ | 18.2MΩ﹒cm |
| TOC | <5ppb |
| 顆料* | (>0.22um/mL)*<1p/mL |
| 細菌* | <1cfu/mL |
| 熱原(內毒素)** | <0.001 EU/mL |
| RNases** | <0.01ng/mL |
| DNases** | <4pg/mL |
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