階差規(guī)   查看詳細(xì)尺寸點(diǎn)擊我

516系列

特點(diǎn)：

l 階差減小的高度從到NO.5。

l 相鄰階差校準(zhǔn)的分辨率0.01μm，使用干涉儀的精度測(cè)量的線性偏差為±0.20μm

l 可選用鋼制型和陶瓷型。

l 階差規(guī)用于校準(zhǔn)相鄰高度的精度。

 

性能參數(shù)

公制型

貨號(hào)	備注
516-198	鋼制型（階差：10μm/5μm/2μm/1μm）
516-199	鋼制型（階差：300μm/100μm/50μm/20μm）
516-498	陶瓷型（階差：10μm/5μm/2μm/1μm）
516-499	陶瓷型（階差：300μm/100μm/50μm/20μm）