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GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀 科晶
產(chǎn)品簡介：GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀可設(shè)定程序，并精確控制溫度200ºC-1500ºC（或者1200ºC-1700ºC），可蒸鍍直徑2"的薄膜樣品，樣品臺可旋轉(zhuǎn)，以獲得更均勻的薄膜?？芍苽涓鞣N金屬薄膜和有機(jī)物薄膜，廣泛用于電極的制備和有機(jī)物發(fā)光LED。| 產(chǎn)品型號 | GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀 |
| 主要特點(diǎn) | 1、已通過CE認(rèn)證。 2、采用石英腔體，易于清潔和樣品的放入。 3、樣品臺可旋轉(zhuǎn)，能夠使所制薄膜達(dá)到更好的均勻性。 4、采用鎢絲作為發(fā)熱源，溫度可達(dá)到1700℃，并配有專用的氧化鋁舟裝載樣品（僅1600ºC以下使用，若蒸 發(fā)溫度大于1600ºC，樣品應(yīng)直接放在鎢絲籃中）。 5、熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制。 6、可將設(shè)備轉(zhuǎn)換到手動調(diào)節(jié)狀態(tài)，內(nèi)部不安裝熱電偶，直接采用手動調(diào)節(jié)輸出電流大小，發(fā)熱源溫度可達(dá) 2000ºC，可達(dá)到對樣品鍍碳等實(shí)驗(yàn)要求。 7、可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。 8、進(jìn)氣口配有針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。 |
| 技術(shù)參數(shù) | 1、電壓：AC 208V-220V 50Hz/60Hz 單相 2、功率：500W，電流為30A 3、真空腔體：石英腔體，直徑Ø6" 4、樣品臺：直徑Ø50mm；可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5rpm；與蒸發(fā)源間距可調(diào)，調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm 5、溫度：1700ºC 6、熱電偶：S型熱偶，工作溫度200ºC-1500ºC（可選用B型熱偶，工作溫度1200ºC-1700ºC） 7、控溫精度：±1ºC，數(shù)顯溫度控制器，可設(shè)置30段升降溫程序 8、鎢絲籃：2個(gè) 9、真空接口：KF40 10、真空計(jì)：數(shù)顯防腐真空計(jì)PCG554，測量范圍3.8×10-5-1125torr 11、進(jìn)氣接口：1/4NPS |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：440mm×330mm×630mm |
| 可選配件 | 1、機(jī)械泵（帶油污過濾器）（真空度<>-2torr，可以蒸發(fā)貴金屬，如Au、Ag） 2、分子泵（可獲得高真空，真空度<>-5torr，蒸發(fā)易氧化材料，如Al、Mg、Li等） 3、低真空系統(tǒng) 4、高真空系統(tǒng) 5、等離子清洗機(jī)（鍍膜前對基片進(jìn)行清洗，可獲得更好的薄膜強(qiáng)度） |
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