日立儀器基于Windows^TM 的軟件SmartLinka，直觀、簡(jiǎn)單，使用戶的生產(chǎn)效率化：

界面主要部分：

§ A) 待測(cè)樣品放大的圖像

§ B) 清晰的測(cè)試結(jié)果顯示：可選擇標(biāo)準(zhǔn)或大字符

§ C) X射線波譜，顯示樣品中主要元素

§ D) “Stop/Go" 一鍵測(cè)量

日立儀器基于Windows^TM的SmartLinka FP軟件：

§ 基本參數(shù)法可不需或只需很少數(shù)量的標(biāo)樣。

§ 儀器預(yù)裝了超過(guò)800種應(yīng)用參數(shù)/方法，便于建立測(cè)試程序和日常操作。 

§ 直觀的步驟，可在幾分鐘內(nèi)建立新方法。

§ 如有結(jié)構(gòu)匹配的標(biāo)樣，基于FP方法的校正程序可提供可信的定量分析結(jié)果。

§ 如沒(méi)有結(jié)構(gòu)匹配的標(biāo)樣，可建立一個(gè)純理論的校正程序。

§ 如有全套標(biāo)樣，“經(jīng)驗(yàn)式的"感興趣區(qū)域（ROI）校正方法可以實(shí)現(xiàn)的準(zhǔn)確度。

基本參數(shù)法可以快速、準(zhǔn)確第測(cè)量鍍層厚度和材料成分分析：

§ 基于FP的校準(zhǔn)覆蓋廣泛的厚度范圍包括復(fù)雜的多層應(yīng)用。

§ 基于FP的校準(zhǔn)液覆蓋廣泛的材料。這對(duì)包含大量非常規(guī)任務(wù)的工作特別有用。

§ 當(dāng)有限標(biāo)樣時(shí)，基于FP的校準(zhǔn)程序提供了可靠的定量分析的手段。

§ 當(dāng)沒(méi)有標(biāo)樣時(shí)，可建立純理論的校準(zhǔn)程序進(jìn)行半定量分析。

§ 只需對(duì)日立儀器提供的波譜校準(zhǔn)（Spec-Cal）標(biāo)樣進(jìn)行簡(jiǎn)單、快速的測(cè)量，即可檢測(cè)儀器的性能，即靈敏度和檢測(cè)器的分辨率。測(cè)量結(jié)束時(shí)，儀器自動(dòng)完成校準(zhǔn)，保證儀器長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

§ 自動(dòng)熱補(bǔ)償功能持續(xù)測(cè)量?jī)x器的溫度并做修正，保證短期和長(zhǎng)期的數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。 

§ 快速、簡(jiǎn)單的定性分析

§ 清晰、簡(jiǎn)單、可視的元素標(biāo)識(shí)和驗(yàn)證

§ 清晰、圖形化顯示出選定X射線能量區(qū)域（keV或通道）在一次測(cè)量中錄得的信號(hào)計(jì)數(shù)（強(qiáng)度）。

§ 波譜和感興趣區(qū)域強(qiáng)度在測(cè)量時(shí)實(shí)時(shí)顯示。

§ 用戶可以將感興趣區(qū)域的波譜強(qiáng)度導(dǎo)出、打印、保存、恢復(fù)，以及將波譜保存成文本格式以轉(zhuǎn)換至數(shù)據(jù)表作具體研究。

§ 可根據(jù)客戶的具體要求打印定制報(bào)告，如：用戶可使用預(yù)置模板或自制報(bào)告模板，并一鍵實(shí)現(xiàn)報(bào)告打印。