總倍率

54x - 17,280x

視場直徑

16 μm - 5,120 μm

測量原理

光學(xué)系統(tǒng)

反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光 -DIC 顯微鏡
彩色
彩色 DIC

光接收元件

激光 ：光電倍增管（2ch）
彩色 ： CMOS 彩色相機(jī)

高度測量

顯示分辨率

0.5 納米

動(dòng)態(tài)范圍

16 位

重復(fù)性 n-1 *1 *2 *5

5X : 0.45 μm, 10X : 0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm

準(zhǔn)確度 *1 *3 *5

0.15 + L/100μm（L: 測量長度 [μm]）

拼接圖像準(zhǔn)確度 *1 *3 *5

10X ： 5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率 : 1.0+L/100 μm（L: 拼接高度 [μm]）

測量噪聲（Sq 噪聲） *1 *4 *5

1 納米

寬度測量

顯示分辨率

1 納米

重復(fù)性 3 n-1 *1 *2 *5

5X : 0.4 μm, 10X : 0.2 μm, 20x : 0.05 μm, 50X : 0.04 μm, 100X : 0.02 μm

準(zhǔn)確度 *1 *3 *5

測量值 +/- 1.5%

拼接圖像準(zhǔn)確度 *1 *3 *5

10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm（L: 拼接長度 [mm]）

圖像解析度

4096 x 4096

圖像拼接像素

3600 萬像素

XY 載物臺(tái)配置

長度測量模塊

?

無

無

?

無

移動(dòng)范圍

100 x 100 mm
電動(dòng)

100 x 100 mm
手動(dòng)

300 x 300 mm
電動(dòng)

100 x 100 mm
電動(dòng)

100 x 100 mm
手動(dòng)

樣品高度

100 mm

40 mm

37 mm

210 mm

150 mm

激光光源

波長

405 nm

輸出

0.95 mW

激光安全等級(jí)

2 級(jí) (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)

白光光源

白光 LED

電氣功率

240 W

240 W

278 W

240 W

240 W

質(zhì)量

顯微鏡主體

約 31 公斤

約 32 公斤

約 50 公斤

約 43 公斤

約 44 公斤

控制箱

約 12 公斤