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參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡介

EA-160是一款全自動非接觸式表面測量儀。利用光譜共焦原理，EA-160可用于膜厚線寬測量、微觀尺寸測量、高度差測量、平面度測量、共面度測量、粗糙度測量等，也可對透明半透明材質(zhì)進(jìn)行多層尺寸測量。高精度、高速測量，結(jié)合易用的軟件，EA-160膜厚測試儀被廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、5G、3D玻璃、新型醫(yī)療、精密工業(yè)制造等領(lǐng)域。

詳細(xì)介紹

應(yīng)用領(lǐng)域：

HTCC膜厚線寬測量、LTCC膜厚線寬測量、SOFC印刷厚度測試、厚膜電路測量、晶圓涂膠測量、MEMS測量、SENSOR測量、太陽能硅片測量、芯片形貌測量、透明材質(zhì)測量、環(huán)氧樹脂測量、印刷圖形測量、激光鐳雕測量、Wafer槽深測量、斷差測量、Lens測量、油墨厚度測量、藍(lán)寶石厚度測量、曲面鏡片測量

特點(diǎn)：

高速度、高精度自動測量系統(tǒng)

160mm*160mm 范圍測量

透明材質(zhì)穿透測量

測量膜厚、線寬、平面度等

多程序自由切換，方便靈活

基本參數(shù)：

設(shè)備品名	全自動非接觸膜厚測試儀
設(shè)備型號	EA-160
XY測量行程	160*160mm
Z軸可調(diào)行程	50mm
掃描最小步距	1um
掃描速度	30mm/s
陶瓷檢測重復(fù)精度	±0.5μm
Z向分辨率	1nm
橫線分辨率	0.1um
光柵尺分辨率	0.01um
量程	1200um
測試方式	可編程自動測量
MARK類型	圓形、方形、十字、菱形、多邊形、不規(guī)則圖形
載物平臺	微孔陶瓷真空吸附平臺
膜厚測試	支持
線寬測試	支持
粗糙度測試	支持
透明材料自動測厚	支持
孔深、刻槽深度測試	支持
測量原理	光譜共焦
CCD視覺	500萬
紅外激光對準(zhǔn)器	標(biāo)配
數(shù)據(jù)輸出	Excel、CSV格式、JPG格式
數(shù)據(jù)分析	CPK
數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)	平均值，值，最小值，極差，標(biāo)準(zhǔn)差，CP，CPK，良率，總數(shù)
數(shù)據(jù)接口	串口協(xié)議、網(wǎng)口協(xié)議
接口類型	RS485、RS232、RJ45
數(shù)據(jù)存儲	存儲位置任意指定
數(shù)據(jù)回測	任意節(jié)點(diǎn)數(shù)據(jù)回測
MES信息化系統(tǒng)	支持
設(shè)備日志	具備
操作系統(tǒng)	WIN10
校驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)塊規(guī)	標(biāo)配
三角塊規(guī)	標(biāo)配
外觀尺寸	950650500mm
電源	AC220V±10%,50-60Hz
氣源壓縮空氣	0.3~0.7Mpa或真空氣源
重量	250KG
工控主機(jī)	內(nèi)存8G、固態(tài)硬盤480G、顯示器23.8“、分辨率19201080，高速千兆網(wǎng)口PCI2

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膜厚測量儀EA-160

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