特點

• 長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 0.2%
• 能夠根據(jù)命令變化迅速進行流量響應并且過沖/下沖可忽略不計
• 流量范圍寬 - 從3 sccm 一直到3000 slm
• 耐高壓等級 - 高達 10MPA
• 可拆卸式流量傳感器
• 不受安裝角度影響
• 能和其他質(zhì)量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容
• 電驅(qū)動閥超調(diào)
• 耐化學腐蝕閥門

耐用

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

耐腐

☆主體采用不銹鋼（304或316L）結(jié)構，氣密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

穩(wěn)定

☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。

安裝便捷

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。

精確計量

☆配合流量顯示儀，可對氣體的瞬時流量進行精確計量控制。