螺桿真空泵是一種干式運(yùn)行，無(wú)接觸，等螺距的螺桿型真空泵

 
 
 
 
 

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（6	）檢漏	（11	）半導(dǎo)體行業(yè)

 
 
1.4 型號(hào)及意義
 
 
LG100
 
 
LG^ 螺桿真空泵（為漢語(yǔ)拼音螺“ Luo ”和桿“ Gan ”的個(gè)大寫字母）
 
 
 
100 ——抽氣速率 100L/S
 
 
 
 
 
2 工作原理
 
 
 
2.1 抽氣原理
 
 
 
 
 
 
 
 
 
螺桿真空泵里的泵腔由兩個(gè)同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和泵體、側(cè)蓋等組成。使用了一對(duì)緊密嚙合的左旋和 右旋螺桿，通過(guò)非常少的零部件，實(shí)現(xiàn)很多的級(jí)數(shù)，并且獲得很低的極限壓力。圖 1 和圖 2 顯示了兩個(gè)轉(zhuǎn)子和泵體以及側(cè)蓋如何構(gòu)成了若干個(gè)室并實(shí)現(xiàn)氣體壓縮。兩個(gè)轉(zhuǎn)子同步反向高速旋轉(zhuǎn)，這些氣室有規(guī)律地 從泵的進(jìn)氣口側(cè)往排氣口側(cè)“移動(dòng)”（圖
 
 
2) ，這樣氣體就以低速旋流的方式運(yùn)送出去。   泵的持續(xù)運(yùn)動(dòng)不改變氣體流動(dòng)方向，   這樣就可以在一定范圍內(nèi)將氣體夾帶的
 
 
微粒以及蒸汽抽送出去。
 
 
 
 
 
與其它干式運(yùn)行的壓縮 （縫隙密封式） 真空泵一樣， 螺桿泵的兩螺桿之間， 螺桿與泵體之間要保持極 為緊密的間隙。否則壓力降造成的泄漏對(duì)抽速和可達(dá)到的極限壓力都有負(fù)面影響。在工作中， LG 螺桿真空泵的設(shè)計(jì)使得間隙保持在泵的
 
 
運(yùn)動(dòng)范圍以內(nèi)。為了限制零部件達(dá)到的溫度，泵殼體采用水隔套冷卻，螺桿內(nèi)部采用水冷卻，即將外部水隔套流出的冷卻
 
 
水引入螺桿內(nèi)部。因此泵內(nèi)實(shí)現(xiàn)了溫度的均衡。
 
 
本型泵采用了等螺距的螺桿型線，在螺桿的末端有內(nèi)部壓縮設(shè)計(jì)，即絕大部分的壓縮工作是在氣體與排氣口相通的
 
 
時(shí)候完成的，也就是泵排出的最后階段。圖 3 顯示的是螺桿泵的 P-V 圖表：（ a) 無(wú)內(nèi)壓縮； (b) 最后階段有壓縮。 PV 圖
 
 
表中顯示的幾個(gè)面積與泵吸取的能量成正比的。很明顯地，采取適當(dāng)?shù)膬?nèi)壓縮，有利于降低功率的消耗，同時(shí)也減少了發(fā)
 
 
熱量。