技術(shù)參數(shù)：
測(cè)量范圍：200mm ×100 mm  

分辨率：0.0002mm

準(zhǔn)確度：(1+L/100)μm（其中L為被測(cè)長(zhǎng)度，單位為mm）

工作臺(tái)

方工作臺(tái)尺寸：260mm×270mm   

方工作臺(tái)承放工件高度：140mm

工作臺(tái)承重：40kg

主顯微鏡立柱    

傾斜范圍：±12°     

傾斜角度分度值：30′

物鏡

頂針架

夾持直徑：φ100 mm      

夾持長(zhǎng)度：700mm

高頂針架     

夾持直徑：φ250 mm     

夾持長(zhǎng)度： 200mm

數(shù)顯分度頭

角度測(cè)量范圍：0°～360°     

角度測(cè)量分辨率：5″     

角度測(cè)量準(zhǔn)確度：30″

CCD 攝像頭    

1/3英寸彩色（或黑白）CCD

像素?cái)?shù)：795×596

光學(xué)定位器

最小探測(cè)孔徑: φ5mm   

探測(cè)深度：15mm

測(cè)量力：0.1N    

定位穩(wěn)定性: 0.001mm

測(cè)頭直徑的檢定極限誤差：0.0005mm

環(huán)境要求：室溫20±1℃，相對(duì)濕度40％－60％RH

儀器外形尺寸(mm) : 長(zhǎng)1300×寬1250×高800

儀器質(zhì)量： 450kg