HMPS-2050多用途微波等離子體（CVD）系統(tǒng)

技術(shù)特點及用途

●     系統(tǒng)采用HMG-2050，5Kw/2450MHz高穩(wěn)定程控微波功率源。運用*的線路安全閉鎖控制系統(tǒng)，使該系統(tǒng)工作壽命長，電氣性能優(yōu)良，安全可靠，操作簡單方便。

●     微波傳輸系統(tǒng)由高性能微波環(huán)行器，銷釘調(diào)配器，帶反射波取樣的水負(fù)載以及外部連接波導(dǎo)組成。它確保反射波對磁控管的良好隔離，并能方便地調(diào)節(jié)*匹配，達(dá)到微波功率的*傳輸。

●     下注式微波反應(yīng)腔可在很寬的運行范圍內(nèi)把微波功率耦合給等離子體，在等離子體放電室中產(chǎn)生高密度、高電離度、大面積均勻穩(wěn)定的微波放電。為確保穩(wěn)定工作, 腔壁采用雙層水冷。

●     多端口等離子體放電腔帶8～12個端口，是雙層水冷結(jié)構(gòu)的大容積放電腔。

● 系統(tǒng)主要用途： 1）金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究和中試加工；2）基片的刻蝕和灰化；3）作為高密度、寬束離子源；4）低溫氧化物的生長；5）等離子體表面處理和其它實驗加工。