產(chǎn)品介紹：

創(chuàng)新的“EM Wizard"界面更加直觀，僅需要“點(diǎn)擊"即可得到的圖像。超前的電腦輔助技術(shù)將電鏡的操作與控制提升到一個(gè)新水平。

主要特點(diǎn)：

● 二次電子分辨率:頂位二次電子探測(cè)器(2.0 nm at 1kV)＊

● 高靈敏度:高效PD-BSD,的低加速電壓性能，低至100 V成像

● 大束流(>200 nA):便于高效微區(qū)分析

● EBSD等分析

應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 鋼鐵

2. 復(fù)合材料

3. 納米材料

SU5000應(yīng)用：鋰電池材料極低電壓條件下的BSE觀察

縱觀新能源市場(chǎng)的變化，鋰電池的發(fā)展進(jìn)度可謂日新月異。從見的手機(jī)、筆 記本電腦、平板電腦、相機(jī)等小型數(shù)碼家電到大型汽車都不乏這種新材料能源的身 影。如今市場(chǎng)上的鋰電池主要有三種：矩形鋰電池、圓柱形鋰電池及軟包裝鋰電池。 從類型來分，主要為鈷酸鋰，磷酸鐵鋰，三元電池居多。

目前，鋰電池粉末的純化又非常困難，電池中的金屬雜質(zhì)和異物一直是困擾鋰電 池安全與壽命隱患之一。鋰電池由正極，負(fù)極及隔膜三大部分組成，其中異物的 存在類型、位置、形狀大小將直接導(dǎo)致鋰電池在充放電過程中發(fā)生自放電、短路、發(fā) 熱甚至爆炸等安全問題。

背散射電子（BSE）是SEM中重要成像信號(hào)，電子發(fā)射于較為深層，其主要貢獻(xiàn) 于成分差別造成的襯度，可以直接觀察到樣品的成分差異。在掃描電鏡發(fā)展歷史中， 長期都是不斷提升二次電子探頭的能力，使得二次電子分辨率不斷提升，不斷穩(wěn)定， 由于傳統(tǒng)的背散射探頭需要比較高的加速電壓才能成像，導(dǎo)致背散射探頭的功能始終 被作為輔助功能，甚至做為選配探頭，一直難以體現(xiàn)其實(shí)際能力。而日立場(chǎng)發(fā)射 掃描電鏡SU5000可以在低電壓條件下進(jìn)行觀察（500V甚至更低，如圖一），將極大 拓展背散射電子信號(hào)的應(yīng)用領(lǐng)域。

圖一：鋰電池正極材料極低電壓條件下（500V）的背散射電子信號(hào)圖像

圖二：極低電壓條件下（300V）正極材料的觀察

當(dāng)電壓降至更低的300V時(shí)，用背散射電子探頭觀察鋰電池正極材料中的成分差異會(huì)更加明顯。與此同時(shí)，在300V條件下使用TOP探頭二次電子觀察樣品的形貌襯度也會(huì)更加突出（但在圖像中，金屬酸化物相比碳材料更暗，是由于二次電子的出射率較差）。由此我們可以看出，在極低電壓條件下使用BSE觀察較難樣品是非常有效 的，并且SU5000還可以配合Top探頭使用SE對(duì)樣品進(jìn)行觀察確認(rèn)，這在實(shí)際應(yīng)用中將會(huì)非常實(shí)用。

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