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產(chǎn)品簡介

VCF真空碳管爐型號VCF-48-21特點該設(shè)備可用于做碳沉積之類的CVD實驗，其具有以下優(yōu)點1、溫度高，可達到2100℃2、安全，不會像管式爐出現(xiàn)斷管子的風(fēng)險3、腔體大，比管式爐處理的樣品體積大4、加裝防爆閥，可及時將腔體內(nèi)多余氣體排出

詳細介紹

VCF 真空碳管爐	型號	VCF-48-21
	特點	該設(shè)備可用于做碳沉積之類的CVD實驗，其具有以下優(yōu)點 1、溫度高，可達到2100℃ 2、安全，不會像管式爐出現(xiàn)斷管子的風(fēng)險 3、腔體大，比管式爐處理的樣品體積大 4、加裝防爆閥，可及時將腔體內(nèi)多余氣體排出。 5、采用電容薄膜規(guī)測量真空度，測量結(jié)果更精準(zhǔn)。若用戶需要潔凈的環(huán)境，可選購我公司鎢絲爐或鉬絲爐，具體可咨詢我公司銷售
	技術(shù)方案	1、一個石墨桶放在加熱區(qū)內(nèi)，石墨桶內(nèi)有兩個（也可定制其它數(shù)量）放物料的支架 2、氣體由下方進氣口進入石墨桶內(nèi)，經(jīng)過物料架，在襯底材料表面經(jīng)過化學(xué)反應(yīng)形成固體沉積物，多余的氣體經(jīng)上方排氣口排出。
	功率	48KW
	電源	三相 380V 50/60Hz
	加熱溫度	2100℃
	控溫模式	歐陸 3204 智能PID 5×16段程序控溫
	加熱碳管尺寸(mm)	Dia200(內(nèi)徑）×320
	有效加熱尺寸(mm)	Dia160×160
	腔體真空度（擴散泵機組）	< 5×10 ^-3Pa
	腔體充氣壓力	< 0.05MPa
	升壓率	<4Pa/小時
	斷偶保護和顯示	有
	過溫保護	有
	過流保護	有
	欠壓保護（水壓）	有
	控制精度	+/- 1℃
	溫度檢測方式	鎢套管鎢錸熱電偶
	升溫速率	< 20度/min
	真空腔體內(nèi)是否水冷	是
	觀察窗尺寸	Dia 90mm
	外形尺寸	1.851.62米
	防爆系統(tǒng)	防爆系統(tǒng)由壓力變送器和防爆閥組成壓力傳感器，可在壓力控制表上設(shè)置報警壓力，當(dāng)爐管內(nèi)壓力大于等于設(shè)定的報警壓力時，防爆系統(tǒng)會自動啟動，并放出爐管內(nèi)多余的氣體。防爆電磁閥由兩個方向相反的單向閥組成，無論是真空還是氣氛下都可以關(guān)的很好，不漏氣，不回流。壓力變送器防爆閥
	冷水機（選配）	8P
真空機組	機組輸入電壓	380V /220V
	波紋管	KF40×1000
	真空擋板閥	KF40
	前級真空泵 VRD-60	功率	2.5KW
		電壓	380V
		轉(zhuǎn)速	1450rpm
		進氣口徑	KF25/KF40
		前機泵抽氣速率（L/S）	15
		極限壓強	4×10 ^-2Pa
	擴散泵TK200	電壓	220V
		功率	2000W
		進氣接口	DN200
		出氣接口	DN40
		注入油量	0.4L
		抽氣速率（N2）	2000L/S
	復(fù)合真空計	復(fù)合真空計型號	ZDF
		電源	220V 55W
		控制精度	± 1%
		真空計測量范圍	10^-5-10 ⁵Pa
GX 供氣系統(tǒng) 主要參數(shù)	質(zhì)量流量計	量程和氣體	5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型）
		耐壓	3MP
		流量控制精度	±1.0%F.S
		工作（使用）壓力	0.3MPa
		線性	±0.5%F.S.
		重復(fù)精度	±0.2% F.S
	路數(shù)	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）
	接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
	系統(tǒng)工作壓力范圍	0.1~0.5 MPa
	工作溫度	5-45℃
	壓力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
	靜態(tài)混氣室	Dia50 X 400MM
	接口	Dia6 / 1/4”
冷水機		電源	3PH-380V/50HZ
		制冷量	18.3*10³kcal/h
		輸入總功率	12KW
		揚程	50M
		流量	12m³/h
		水箱容量	130L
		外形尺寸	730×1335×1415
		凈重	285KG

一：設(shè)備特點

本電爐為周期作業(yè)式，廣泛應(yīng)用于功能陶瓷，光學(xué)材料，碳復(fù)合材料，硬質(zhì)合金，粉末冶金等在高溫真空條件下進行燒結(jié)處理，也可在充氣保護情況下成型燒結(jié)。

二、結(jié)構(gòu)組成

1.爐體 2.爐蓋 3.爐底 4.爐架 5.真空系統(tǒng)

6.溫控系統(tǒng) 7.氣路系統(tǒng) 8.變壓器及聯(lián)接電纜 9.水冷系統(tǒng) 10.發(fā)熱元件及隔熱屏

三、結(jié)構(gòu)說明

1、爐體：采用雙層水夾層結(jié)構(gòu)，內(nèi)層為不銹鋼（1Cr18N9Ti）拋光，外層為優(yōu)質(zhì)碳鋼，上、下法蘭組焊成筒型結(jié)構(gòu)，法蘭平面開設(shè)密封槽。采用“O”圈真空密封，并設(shè)水冷裝置（防止因溫度過高“O”圈老化）。開設(shè)有抽氣、熱電偶、紅外孔等。

2、爐蓋：采用雙層夾層封頭結(jié)構(gòu)，設(shè)有觀察孔，屏蔽、鎖緊、開啟裝置，并通水冷卻。

3、爐底：同樣采用雙層水夾層封頭結(jié)構(gòu)，設(shè)有電極引出裝置，支撐平臺等，并設(shè)有水冷裝置。

4、爐架：由型鋼及鋼板組焊成箱式結(jié)構(gòu)，爐體安放在箱體上，美觀大方。

5、真空系統(tǒng)：由壹臺TK-200擴散泵配冷阱，壹臺VRD-60機械泵、手動高真空擋板閥、真空壓力表（±Pa）、充氣閥、放氣閥和真空管路等組成。機械泵采用金屬波紋軟管快速接頭聯(lián)接（減緩震動），真空度的測量采用數(shù)顯復(fù)合真空計。

6、溫控系統(tǒng)：采用可控制硅控溫，儀表為歐陸溫控表，具有P.I.D調(diào)節(jié)、超溫聲光報警功能，電器元件采用正泰品牌，電控屏箱按西門子標(biāo)準(zhǔn)制作，控溫精度高，操作方便。

7、氣路系統(tǒng)：在整個系統(tǒng)中設(shè)有1個進氣口、1個放氣口，可充氣氛。

8、電氣控制：采用可控硅控溫，配有大電流變壓器、調(diào)壓器及溫度控制儀表組成溫度控制執(zhí)行回路。電路設(shè)有斷水、過流、超溫報警及保護功能。

9、水冷系統(tǒng)：由各種管道閥等相關(guān)裝置組成，具有斷水聲光報警自動切斷電源功能。

10、變壓器及聯(lián)接電纜：采用與之相匹配的變壓器及聯(lián)接電纜。

11、發(fā)熱元件及隔熱屏：發(fā)熱元件采用電極石墨加工成圓筒形的結(jié)構(gòu)，隔熱屏采用石墨、碳氈、石墨氈（1層石墨筒，4層碳毪和4層石墨氈，每層厚10mm以上），保溫性能好、加熱均勻、輻射面大、耐熱沖擊性好，可快速加熱和冷卻。保溫層和發(fā)熱分體，易維護和取裝，保溫套外用不銹鋼框架支撐，固定。