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南京博蘊通儀器科技有限公司>>>>可倒料CVD系統(tǒng)

可倒料CVD系統(tǒng)

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更新時間:2025-05-02 08:26:19瀏覽次數(shù):105

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)技術(shù)參數(shù)TL1200-1200雙溫區(qū)管式爐型號TL1200-Ⅲ-CVD功率30KW爐管尺寸高純石英管:300*1900mm(管徑可選)兩邊各放置一個爐塞

詳細(xì)介紹

 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

TL1200-1200 雙溫區(qū)管式爐

 

 

型號

TL1200-Ⅲ-CVD

 功率

30KW

 爐管尺寸

高純石英管:300*1900mm(管徑可選)

兩邊各放置一個爐塞,爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射,必須在加熱前放置在爐膛的正確位置

 

 外形尺(LXDXH)

2900X950X1210

電源電壓

三相380V

加熱元件

國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲(可選配進(jìn)口瑞典Canthal  A1 電阻絲)   點擊進(jìn)入資料下載

控制方式

 

 采用宇電程序控溫儀表(標(biāo)配)

1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,,(當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,

主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護(hù)電爐)。

3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標(biāo)配)

4、具有斷電保護(hù)功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

(更換進(jìn)口儀表,需要另外付費,選購)

                                                  

FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

(日本島電)

         控溫模式

智能PID

斷偶保護(hù)和顯示

有

過溫保護(hù)

有

過流保護(hù)

有

控制精度

+/- 1 ℃

觸發(fā)器

移相觸發(fā)

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國西門康

溫度

溫區(qū)一:1200 ℃             溫區(qū)二:1200 ℃        溫區(qū)三:1200℃

額定溫度

溫區(qū)一:1100 ℃                 溫區(qū)二:1100 ℃               溫區(qū)三:1100℃

升溫速率

≤30 ℃/ Min (可根據(jù)要求修改)

推薦升溫速率

≤15℃/ Min

熱電偶型號

K   型

加熱段長度

440+440+440mm

溫度校準(zhǔn)(選配)

定期對管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn),可保持爐溫的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準(zhǔn)工具,輔助您完成這項工作,完整的校準(zhǔn)套件包括標(biāo)準(zhǔn)熱電偶,溫度校準(zhǔn)儀,補償導(dǎo)線

            

電器認(rèn)證

四周表面溫度

≤45℃

閥門和法蘭

 

防爆系統(tǒng)

防爆系統(tǒng)由壓力變送器、防爆電磁閥和宇電控制儀表組成

可在宇電控制表上設(shè)置報警壓力,當(dāng)爐管內(nèi)壓力大于等于設(shè)定的報警壓力時,防爆系統(tǒng)會自動啟動,并放出爐管內(nèi)多余的氣體。

防爆電磁閥由兩個方向相反的單向閥組成,無論是真空還是氣氛下都可以關(guān)的很好,不漏氣,不回流。

壓力變送器是一種將壓力轉(zhuǎn)換成電信號進(jìn)行控制和遠(yuǎn)傳的設(shè)備。

壓力變送器將測壓元件傳感器感受到的氣體參數(shù)轉(zhuǎn)變成標(biāo)準(zhǔn)的電信號(如4~20mADC等),輸出給控制儀表,控制儀表將接收到的電信號進(jìn)行轉(zhuǎn)換輸出給電磁閥,電磁閥根據(jù)接收到的信號動作

                            

      壓力變送器                       防爆電磁閥

倒料系統(tǒng)

爐體可傾斜,傾斜之后物料即可從爐管中滑下,傾斜角度30℃

 

GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)

 

 

質(zhì)量流量計

 

 

量程和氣體

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)

耐壓

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

工作(使用)壓力

0.3MPa

線性

±0.5%F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S

路數(shù)

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統(tǒng)工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態(tài)混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

 

 真空系統(tǒng)

 

電源

  220V

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá)

 10 -1Pa

真空擋板閥

 KF25

 

RV4真空泵

 

型號

RV-4

極限分壓強(qiáng)

5X10-2 Pa

進(jìn)排氣接口

 KF25

電機(jī)轉(zhuǎn)速

1440RPM

抽氣速率

4L/S

電機(jī)功率

0.4KW

電阻真空計

 

 

   型號

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測量范圍

0.1-10 5 Pa

   電阻硅

ZJ-52T

保修期

一年保修,終身技術(shù)支持

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

注意事項

1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa

3.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

4.對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開排氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

 

CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ,溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計,混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

這款CVD系統(tǒng)是由2路供氣系統(tǒng)+TL1200-Ⅲ三溫區(qū)管式爐+真空系統(tǒng)組成

1、電阻絲爐膛

                               

 

(1)、使用真空吸附成型工藝,將加熱元件嵌入固定在耐火材料內(nèi),是集發(fā)熱和隔熱的為一體的電熱模塊單元

(2)、使用溫度高達(dá)1250度,具有的加熱效果和熱穩(wěn)定性

(3)、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場

(4)、采用4周加熱,溫場更加均衡

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

 

                                                       

         電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡

2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器:

當(dāng)電路過流或漏電時,空開會自動斷開。

 

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出

 

  

4、可選UL認(rèn)證電氣板 (全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器)

 

 

5、不銹鋼支撐架

       

 

6、認(rèn)證

     

 

7、法蘭

                                                    

鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm(選購)           可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭(選購)                 水冷法蘭(選購)

                                

 

 

 

 

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