型號

SP-8VIM-MO

優(yōu)點

1、采用立式爐體，正面開門結構，進出料方便，爐體結構緊湊，占地空間小；

2、可以50段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時間。

3、比管式爐更安全，沒有斷管子的風險

4、可以在更大尺寸的晶片上生長石墨烯

5、帶有三路供氣系統(tǒng)，可在觸摸屏上直接設置流量，數(shù)字顯示，操作簡單

6、安裝有穩(wěn)壓系統(tǒng)，可把爐體內氣壓穩(wěn)定在某一數(shù)值

7、帶有氣體分散系統(tǒng)，可將進入爐腔內的氣體盡可能的分散，使反應更加均勻

8、安裝有水冷機，水冷機具有欠壓和斷水報警，使用安全可靠。

9、采用IGBT電源，具有過溫、斷水保護并具有報警、輸出電流顯示等功能。

輸入功率

54KW（感應電源45KW+真空泵0.75KW+冷水機8KW）

溫度

1800℃

外形尺寸

銅圈尺寸

394mm(OD)X390mm(ID)X75mm(H)

石墨盤尺寸

外徑216mm，壁厚2mm，內高25mm，外高35mm

石英管

380mm(OD)X372mm(ID)X600mm(H)

工作電壓

三相 AC380V 50Hz

中頻電源

功率

45KW

振蕩頻率

1~20KHZ

加熱電流

10~95A

負載持續(xù)率

99%

冷卻水要求

6P冷水機

氣體分散裝置

多孔石英板位于石墨盤正上方，氣體從上法蘭進氣口進來后，經(jīng)過多孔石英板被分散之后與石墨盤中物料充分接觸，反應更均勻

穩(wěn)壓系統(tǒng)

穩(wěn)壓系統(tǒng)由真空泵、英國歐陸控制器、宇電控制器、壓力變送器、電容規(guī)等組成。

在進氣量小于2000SCCM，此穩(wěn)壓系統(tǒng)可將腔體內壓力控制在0~20000Pa范圍內的某一數(shù)值。壓力波動±1Pa

宇電控制器和壓力變送器用于控制真空泵的啟動和粗略真空控制，壓力變送器量程-100KPa~100KPa

歐陸儀表和電容規(guī)用于精確控制真空，壓力測量范圍0~20000Pa

供氣系統(tǒng)

供氣系統(tǒng)由質量流量計，液晶屏，控制軟件組成，可在液晶屏上直接輸入流量數(shù)值，精準控制流量

物料升降平臺

物料可以通過自動升降平臺到加熱區(qū)、降下來后可從爐門處拿出。

1、升降平臺行程          300mm

2、升降平臺升降速度     0.1um-2000um/s  

3、升降平臺上下都做了限位，限度的保護設備

4、放料取料都很方便

不銹鋼支架

不銹鋼支架垂直固定在移動架子上，石英管和法蘭通過支撐板固定于不銹鋼支架上，非常牢固、緊湊

下真空法蘭

下不銹鋼法蘭上帶有高溫硅膠O型圈，并焊接有KF25接頭、KF16接口和進氣閥門，KF25接頭上安裝有真空擋板閥，1米長波紋管連接于該閥和真空泵，KF16接口可接真空計

上真空法蘭

上真空法蘭安裝有壓力表和進氣閥，法蘭蓋配有2種，一種帶玻璃觀察窗，可觀察管內物料融化的情況，一種熱電偶，可對物料進行程序升溫

耐火材料

爐管內的耐火裝置由日本三菱1900型氧化鋁纖維制成，溫度可耐1800℃，頂部開有小孔，可插入熱電偶

保護裝置

在爐管的四周安裝有鋼化玻璃和固定鋼化玻璃的鋁型材，可以很好的保護使用者的安全

控溫系統(tǒng)

采用PID控制，可對物料進行程序控溫加熱，可同時手動調節(jié)電流輸出大小，設備帶有過溫保護

熱電偶

鎢錸5/26

控溫精度

+/-5℃

保護玻璃

在爐管的四周安裝有鋼化玻璃和固定鋼化玻璃的鋁型材，可以很好的保護使用者的安全

真空泵

轉  速

水冷機（選購）

型  號

HZ-06A

輸入總功率

8KW

機器尺寸

650X1300X1145(長X寬X高)

認證

質保期

1年，耗材除外

1、此款熔煉爐需在真空或氣壓小于0.02MPa（相對氣壓）的低壓條件下使用；

2、若用戶需要在氣氛條件下進行實驗，必須在進氣氣瓶上安裝減壓閥，減壓閥的氣壓設置要小于0.02MPa，

    進氣流量<200SCCM（200ml/min)

3、請您仔細閱讀說明書，了解真空熔煉和惰性氣體環(huán)境下熔煉的標準操作程序。在操作過程中請密切監(jiān)控并正       確控制反應容器內部壓力，否則，操作失敗可能導致設備損壞或人身傷害

4、對樣品加熱時，不建議關閉抽氣閥和進氣閥使用。若氣閥關閉對樣品加熱，要時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥，以防不可預見的損失

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