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韓國湖碧馳（Huvitz）半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡? 大型載物臺搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓全面檢查? 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利? 多種觀察方式多種照明方式多種附件以滿足不同應(yīng)用要求

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡

• 大型載物臺搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓全面檢查

• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利

• 多種觀察方式多種照明方式多種附件以滿足不同應(yīng)用要求

HRM300L透反射半導(dǎo)體檢測顯微鏡

HRM300L-M反射光半導(dǎo)體檢測顯微鏡

HRM300L/HRM300L-M詳細(xì)規(guī)格:

光學(xué)系統(tǒng)	無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡鏡體	照明裝置		反射/透射光∶內(nèi)置12V、100W光源，備有光量預(yù)設(shè)開關(guān)、電壓LED指示燈、反射/透射光轉(zhuǎn)換開關(guān)(HRM300L)。反射光∶內(nèi)置12V、100W光源，備有光量預(yù)設(shè)開關(guān)、電壓LED指示燈(HRM300L-M)
	調(diào)焦		行程范圍：29.5毫米粗調(diào)：17.7毫米/轉(zhuǎn)，微調(diào)：0.1毫米/轉(zhuǎn)（1 um刻度），可設(shè)粗調(diào)上限停止位置，粗調(diào)旋鈕張力可調(diào)
	標(biāo)本高度		29.5mm
反射光照明裝置	明視場等觀察法		100W鹵素?zé)?可安裝高亮度光源、光纖照明裝置)。可用于明視野法微分干涉襯比法/簡易偏振光法，配備視場光闌和孔徑光闌(可調(diào)中)以及明視野法聯(lián)動(dòng)的中性密度濾色鏡。
	暗視野觀察法		暗視野法
透射光照明裝置			100W鹵素?zé)簦鋫浒⒇?長工作距離聚光鏡，內(nèi)置透射光濾色鏡(LBD、ND25、ND6)(BX51)
觀察鏡筒		超過寬視野F.N.25	正象∶三目鏡筒HM-WETR：正象型（FN 25），傾斜角為20°

換鏡轉(zhuǎn)盤		明視野法用	五孔帶DIC插孔轉(zhuǎn)盤
		明/暗視野法用	五孔帶DIC插孔轉(zhuǎn)盤
載物臺			1.HRM300L透反射半導(dǎo)體顯微鏡配置載物臺為日本奧林巴斯載物臺（原MX61L用）： MX-SIC1412R2 14英寸×12英寸行程：356×305mm （透射光照明面積：356×284mm） 2.HMR300L-M反射光半導(dǎo)體顯微鏡配置載物臺為德國載物臺：EK300：; 尺寸572（W）X 400（D）mm; 行程:305(X)X305(Y)mm;

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