測量顯微鏡廣泛應用于半導體,電子工業(yè)進行晶體,集成電路的檢驗和精確測量.配備有冷光源光纖反射照明,成象和觀察系統(tǒng),偏光裝置.

Measurement microscope is widely used for crystal, integrated circuit(IC) examination and exact measurement.It is supplied with Cold light fiber reflected illuminator , imaging and viewing system, polarized imaging system.

規(guī)格 Specifications

光學成象系統(tǒng) Optical Imaging System

-----無限遠光學系統(tǒng),管鏡焦距200mm

Infinitive Optical systam, Tube Lens Focal Length 200mm

-----鉸鏈式三目鏡筒,30°傾斜, 瞳距55-75mm

Compensation Free Trinocular Tube, Inclined at 30°, Interpupillary Distance 55-75mm

-----高眼點,大視場目鏡WF10X/22

High Point and Wide Field Eyepiece WF10/22

-----長工作距離,平場復消色差物鏡2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42

Long Working Distance, Plan Apo Objectives 2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42

------五孔物鏡轉換器

Quintuple Nosepiece

調(diào)焦系統(tǒng) Focus Adjustment System

-----同軸粗微調(diào)焦機構,微動格值0.002mm

Coaxial Coarse & Fin Focus Adjustment System, Fine Division 0.002mm

載物臺 Stage

------ 6″x8″雙層活動平臺,移動行程153x204mm

6″x8″Double Layers Mechanical Stage, Move Range 153x204mm.

三維測量系統(tǒng) Three-dimensional Measurement System

-------分辨率: 1μm

Resolution: 1μm

-------測量精度: ±(2+L/200)μm

Measurement Exactitude: ±(2+L/200)μm

------重復定位精度: 2μm

Repeatedly Orientation Exactitude: 2μm

照明系統(tǒng) Illumination System

-------冷光源光纖反射照明器:150W

Dold Light Fiber Reflected Illnminator: 150W

*和全面的測量軟件

-------完整的幾何量測(如:點,線,圓,弧,角度等)

Complete Geometric Measurement(Point,Line,Circle, Arc etc.)

--------坐標系的設定,擺正,旋轉

Enactment, Adjustment of Reference Frame

--------顯示方式多樣化;語言的轉換,公英制單位的轉換,角度的轉換

Diversity of Display: Conversion of Language, Measure and Angle

軟件介紹

完整的幾何量測（如：點、線、園、弧、角度等）。
坐標系的設定，擺正、旋轉。
逆向工程功能以及與Auto CAD的同步操作使用以及與CAM的連接。
測量精準度的校正和補償。
針對重復工件的量測有記憶、學習、自動編程的功能；快速準確的現(xiàn)場實時測量。
顯示方式多樣化：語言的切換（中文簡體和繁體；英文等）；公英制單位的切換
（mm/inch）；角度的轉換（度、度／分／妙）；顯示數(shù)字的小數(shù)點可自設；各種線的顏色可自設
標注隨意化：可依據(jù)不同的語言、顏色、格式在圖形的任何位置進行標注。
個性化的編輯：有復制、粘貼、刪除、剪切、延伸以及UNDO/REDO。

運行桌面上的軟件的快捷方式，進入軟件界面，如下圖：

A．菜單欄

B．常用快捷鍵

C．影像測量區(qū)

D．自動測量編程區(qū) 注意：僅適用于自動系列

E．影像工具和繪圖工具面板

F．狀態(tài)顯示區(qū)

G．運動控制區(qū) 注意：僅適用于自動系列

H．制式工具面板

I．光柵數(shù)據(jù)區(qū)

J．圖元數(shù)據(jù)區(qū)

K．全覽圖工具面板

L．全覽圖

手動／電動平臺 可選標準行程：
6"×8"（153×204mm）
分辨率：1μm
測量精度：±（2＋L200）μm
重復定位精度：2μm
被測物容許重量： 13Kg

光柵線位移傳感器 分辨率：1μm
輸出幅值：5V，相對角差90°的兩路方波信號（TTL）
準確度（20℃）：±(5＋5L／1000)μm（L：傳感器有效量程）
速度：50m/minute
XYZ CNC全自動三維測量系統(tǒng)

精準測控―――精密準確的影像測量CNC自動控制系統(tǒng)

§全面的測量工具例舉

1、 完整的幾何量測（如：點、線、圓、弧、角度等）；

2、 坐標系的設定，擺正、旋轉；

3、 逆向工程功能,以及與AUTOCAD的同步操作使用；

傳送到AUTOCAD

4、 測量精準度的校正和補償；

5、靈活的切換功能，語言的切換（中文簡體和繁體；英文等）；公英制單位的切換（mm/inch）角度的轉換（度、度/分/秒）；顯示數(shù)字的小數(shù)點可自設；各種線的色彩可自設…

6、靈活的標注：可依據(jù)不同的語言、色彩、格式在圖形的任何位置進行標注；

個性化編輯：有復制、粘貼、刪除、剪切、延伸、UNDO/REDO等功能。針對重復工件的量測有記憶、學習、自動編程的功能；

§高分辨率影像觀察及儲存功能

電腦直接截取影像測量儀器之影像并放大顯示，還配有再次放大視窗，操作人員可以方便快捷的對工件進行準確的量測,并可同時獲得量測數(shù)據(jù)，并可將影像直接存盤bmp、jpeg...等格式 ,這樣可以通過郵件的傳輸直接與客戶交流。

§精準的自動尋邊功能

依據(jù)『灰階感應設計』的原理，提供十字線之線條色彩、粗細、感應度、受感應區(qū)域之動態(tài)設定，使自動尋邊更為精確；從而大幅度減少了人為取點所產(chǎn)生的誤差，大大提高了測量之準確度。

§快速的影像公差比對功能

可根據(jù)規(guī)格標準自設尺寸和設定相關參數(shù)，制定合格與不合格之區(qū)間，系統(tǒng)則可自動快速的判斷出工件是否合格。

§自動對焦功能

提供影像自動對焦功能，當系統(tǒng)啟動后系統(tǒng)會自動尋找最清晰影像。

§精準的自動取點功能

神經(jīng)算法設計影像自動判讀功能，解決了人工逐一選點繁瑣，只需框選區(qū)域，軟件將自動取點輸入，直接量測。

◆取點依點、線、圓、弧、方形、不規(guī)則形狀，可選擇適當工具鈕。
◆輸入點數(shù)可選擇1～999點，增加準確度。
◆毛邊去除功能：可去除離散不正常之點邊，避免了應為取多點而誤判毛邊的可能。
◆影像增強功能：影像清晰度可依據(jù)灰階設定調(diào)整至滿意程度。

§各種報表的輸出及同步與CAD的功能

任何量測結果、圖形、影像、統(tǒng)計分析、SPC數(shù)據(jù)皆可匯出Microsoft Word、Excel，并加注公司抬頭及背景資料。且可與CAD同步，動態(tài)傳輸，無需通過轉檔的方式。

§SPC統(tǒng)計功能

1.擁有SPC統(tǒng)計分析功能及開放式數(shù)據(jù)庫，方便品?；蚱渌块T直接獲取數(shù)據(jù)及報表。

2.自動認識指定的量測數(shù)據(jù),并計算其值、最小值、平均值、標準差、 Ca 、 Cp 、 Cpk …的運算,且可應用于生產(chǎn)線實時量測判斷。

3.在量測數(shù)據(jù)輸入時,各式圖表( 如 : X-R、X-S、X-Rm...),立刻同步顯示分析,遇到品質出現(xiàn)問題時，系統(tǒng)會自動以顏色或聲音給操作人員以警示，利于檢測人員或線上人員立即掌握品質現(xiàn)況。

Z軸：手動Z軸（不帶測量功能）
調(diào)焦范圍：290mm
Z軸帶量測范圍：4"（101mm）
分辨率：1μm
測量精度：10μm
底座尺寸（長）×（寬）×（高）：610×450×65mm
平面度：0.05mm