詳細(xì)介紹
- FT160為微型電子器件的微焦斑分析,這款不會過時的儀器,專為微焦斑和薄鍍層分析而設(shè)計,可應(yīng)對日益小型化的電子行業(yè)及PCB板鍍層的挑戰(zhàn)。
■ FT160可提供:
1. 毛細(xì)管聚焦光學(xué)組件和高靈敏度SDD檢測器。
2. 小于50μm的樣品測量
3. **的性能,以滿足半導(dǎo)體芯片技術(shù)的挑戰(zhàn)。
4. 快速得到結(jié)果,使用簡單,以提高生產(chǎn)力。
5. 加快樣品呈現(xiàn)速度的寬大樣品艙門和樣品臺。
6. 進行測試監(jiān)控的寬大樣品觀察窗。
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項目 描述 X射線照射方向 上方照射式 測量元素 Al (13) ~ U(92) 靶材 鎢(W) target、鉬(Mo) target 測定環(huán)境 大氣 X射線發(fā)生部 45kV, 鉬Mo 靶材 設(shè)計 毛細(xì)管聚焦Poly-capillary 管電流 *大1000μA 可變 X射線檢測部 Silicon Drift Detector (SDD) 測定面積 φ0.030mm(FWHM 0.017mm) *大樣品面積 FT160長400mm×寬300mm×高100mm
FT160L 600mm x 600mm專用款電動XY樣品臺驅(qū)動移動范圍 400×300mm CCD Camera 高質(zhì)量相機可變焦16倍 對焦模式 雷射自動對焦 測量模式 Thin Film FP (5層, 10元素)/檢量線法
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