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參考價	面議

產(chǎn)品簡介

詳細介紹

AFM5500M 專用原子力顯微鏡工作站選配項：SEM-AFM聯(lián)用系統(tǒng)大范圍水平掃描采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對掃描器圓弧運動所產(chǎn)生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是，用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運動的影響，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。AFM5500M搭載了研發(fā)的水平掃描器，可實現(xiàn)不受圓弧運動影響的準確測試。高精角度測量普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時候，會發(fā)生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會發(fā)生彎曲（crosstalk），可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

SEM圖像對比度不同，可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換，激光對中，測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動操作平臺。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析。

參數(shù)規(guī)格：

AFM5500M 主機

馬達臺	自動精密馬達臺觀察范圍：100 mm （4英寸）全域馬達臺移動范圍：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm 最小步距：XY 2 µm、Z 0.04 µm
樣品尺寸	直徑：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm 樣品重量：2 kg
掃描范圍	200 µm x 200 µm x 15 µm （XY：閉環(huán)控制 / Z：感應(yīng)器監(jiān)控）
RMS噪音水平*	0.04 nm 以下（高分辨率模式）
復位精度*	XY: ≤15 nm(3σ、計量10 μm的標準間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計量100 nm 的標準深度)
XY直角度	±0.5°
BOW*	2 nm/50 µm 以下
檢測方式	激光檢測（低干涉光學系統(tǒng)）
光學顯微鏡	放大倍率：x1 ～ x7 視野范圍：910 µm x 650 µm ～ 130 µm x 90 µm 顯示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸顯示器）
減震臺	臺式主動減震臺 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、約28 kg
防音罩	750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、約 237 kg
大小?重量	400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、約 90 kg

* 參數(shù)與設(shè)備配置及放置環(huán)境相關(guān)。

OS	Windows7
RealTune®II	自動調(diào)節(jié)懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號反饋
操作畫面	操作導航功能、多窗口顯示功能（測試/分析）、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數(shù)據(jù)批處理分析功能、探針評估功能
X, Y, Z掃描驅(qū)動電壓	0～150 V
時時測試（像素點）	4畫面（2,048 x 2,048） 2畫面（4,096 x 4,096）
長方形掃描	2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
分析軟件	3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
自動控制功能	自動更換懸臂、自動激光對中
大小?重量	340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、約 34 kg
電源	AC100 ～ 240 V　±10% 交流
測試模式	標配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 選配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM

* WINDOWS 是、美國 Microsoft Corporation 在美國及美國以外國家注冊商標。
* RealTune是日立高新科學公司在日本、美國以及歐洲的注冊商標。

可適用的日立SEM型號	SU8240、SU8230（H36　mm型）、SU8220（H29 mm型）
樣品臺大小	41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H）
樣品尺寸	Φ20 mm x 7 mm
對中精度	±10 µm （AFM對中精度）

產(chǎn)品特點：

1. 自動化功能

降低檢測中的人為操作誤差

4英寸自動馬達臺自動更換懸臂功能

2. 可靠性

排除機械原因造成的誤差

Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

Textured-structure solar battery

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

* 使用AFM5100N（開環(huán)控制）時

3. 融合性

親密融合其他檢測分析方式

通過SEM－AFM的共享坐標樣品臺，可實現(xiàn)在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌，結(jié)構(gòu)，成分，物理特性等。

Correlative AFM and SEM Imaging

SEM-AFM在同一視野觀察實例（樣品：石墨烯/SiO2）

The ovrlay images createed

The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.

上圖是AFM5500M拍攝的形狀像（AFM像）和電位像（KFM像）分別和SEM圖像疊加的應(yīng)用數(shù)據(jù)。

石墨烯層數(shù)不同導致表面電位（功函數(shù)）的反差。

今后計劃與其他顯微鏡以及分析儀器的聯(lián)用。

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全自動型原子力顯微鏡-AFM5500M