ULTRA QV404 363 系列 — 超高精度 CNC 影像測(cè)量機(jī)

 ULTRA QV404是實(shí)現(xiàn)了測(cè)量精度 E1xy=(0.25+L/1000)μm的超高精度CNC影像 測(cè)量機(jī)。

• 為了將直線度誤差控制至最小，X、Y、Z3 軸移動(dòng)方式采用了高精度三坐標(biāo)等使用的 空氣軸承。 • 通過FEM(有限要素法)解析后的設(shè)計(jì)實(shí) 現(xiàn)了本體的高剛性化。 • 作為基準(zhǔn)的測(cè)長方式采用了分辨力為0.01μm 的光學(xué)式線性編碼器。 該編碼器的線性膨脹系數(shù)為零，將溫度變 化產(chǎn)生的誤差控制到最小限度。 • 滿足ISO10360-7:2011(JIS B7440-7.2015)的精 度保證。