潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

特點

• 工作溫度360℃和500℃。

• 采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。

• 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量極低。

• 磁密封保持高氣密性，采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響。

• 可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。

• 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。

安全性

• 門檢測開關(guān)

• 溫度過升防止器

• 氧濃度異常安全裝置

• 氮氣壓力檢測

• 氮氣流量檢測

• 冷卻水流量檢測

• 漏水傳感器

• 過電流漏電漏電保護開關(guān)