組分

H2

O2

N2

CH4

CO

CO2

檢測限

10ppb

25ppb

50ppb

20ppb

100ppb

30ppb

重復(fù)性

＜0.5% of range

精度

＜0.5% of scale

響應(yīng)時(shí)間

＜0.5秒（90%）

柱箱溫度

環(huán)境溫度5℃~450℃

多柱箱

有

程序升溫

10階

升溫速率

0.1℃~40℃/min(增量0.1℃)

冷卻時(shí)間

300℃~50℃（5min）

EPC電子流量控制

有

電源

115/220V，50/60Hz，2300W

重量

30kg（取決于配置）

尺寸

572mm（W）×508mm（H）×559mm(D)

純化級別

可以將5.5級別的He純化到6.5級甚至更高級別。

清除的雜質(zhì)：

H2O, O2, CO, CO2,THC, H2, N2 (每一項(xiàng)都小于1 ppb)

建議使用的溫度：

350°C

zui高使用溫度:

450°C

zui大操作壓力:

10 bar

zui高流速:

500 ml

標(biāo)準(zhǔn)安裝接口:

1/8" VCR

電源要求:

110/220/240 V    50/60 Hz , 500 VA

凈重:

9 kg

廠家：

愛爾蘭AGC儀器有限公司

輸出：

zui多有16路 獨(dú)立4-20mA輸出

zui多21個(gè)高/低報(bào)警的無源繼電器觸電

通訊接口：

350°C

分辨率

24位分辨率

輸入范圍

1V

重線性

±0.002% of full scale

積分靈敏度

1μv•sec

系統(tǒng)兼容

• Windows XP ®

• Windows Vista ®

• Windows 7 ®

• Windows 8 ®

• Windows 10 ®