微量氮分析儀是專門用于連續(xù)分析N2/Ar和N2/He而設(shè)計的，它的N2檢測器就是源于我們成功的HFADD的高頻氬放電檢測器，儀器利用對氮分子的選擇性來檢測氬氣或氦氣中微量氮。

微量氮分析儀的工作原理：

作為載氣的高純氬氣以一定流速流經(jīng)處在高頻振蕩電磁場中的石英管時，在管外施加1500V高電壓，使石英管內(nèi)氬氣原子在100兆赫的高頻電磁場振蕩下運動，由于氬原子的電離能低于受振蕩后的平均自由程能量，因而氬原子在管內(nèi)被電離形成離子、電子及中性粒子的混合氣體---等離子體，并且氬原子受激發(fā)放電產(chǎn)生弧光。當被測氣體經(jīng)分離柱后進入檢測器中時，由于*性氣體雜質(zhì)的分子N2，H2，CH4等吸收并粹滅弧光，而O2和CO分子受激發(fā)后產(chǎn)生增強弧光。所產(chǎn)生光的強度變化與被測成分濃度成正比，故可以借此進行雜質(zhì)定量分析。此種檢測器被稱為高頻氬放電檢測器。ADD高頻氬放電檢測器可以分析99.9999%級高純氬中雜質(zhì)，因此分析氬中氮含量可以達到10ppb。