產(chǎn)品簡(jiǎn)介】

薄膜厚度測(cè)量儀利用分光干涉原理精確測(cè)量光學(xué)或非光學(xué)薄膜厚度，測(cè)量分辨率達(dá)到納米量級(jí)。該儀器具有測(cè)量迅速、操作簡(jiǎn)單、測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定（高再現(xiàn)性）、用戶(hù)使用界面易于操作等特點(diǎn)，是目前市場(chǎng)上性?xún)r(jià)比優(yōu)良的膜厚測(cè)量?jī)x之一，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療和工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的薄膜厚度測(cè)量。該膜厚儀使用紫外到近紅外區(qū)域光源，測(cè)量范圍1nm到500μm，可以測(cè)量的膜厚材料包括氧化物、氮化物和保護(hù)膜層等常用薄膜材料。

【測(cè)量原理】

白色照明光源垂直照射到待測(cè)薄膜，一部分光經(jīng)過(guò)薄膜上表面的反射，返回到分光儀。另一部分透過(guò)薄膜上表面，經(jīng)過(guò)薄膜與底層之間的界面反射，返回到分光儀（圖1）。這兩束光在分光儀的光電轉(zhuǎn)換器表面重合，形成分光干涉條紋。根據(jù)分光干涉條紋的周期和薄膜厚度的關(guān)系，利用傅立葉變換方法，解析薄膜的厚度（圖2和圖3）。在薄膜厚度解析過(guò)程，利用不同類(lèi)型材料的相應(yīng)參數(shù)修訂解析模型，從而進(jìn)一步提高不同類(lèi)型材料膜厚測(cè)量的準(zhǔn)確性。

產(chǎn)品特點(diǎn)】

l UV/VIS/NIR高分辨率的配置

l 測(cè)量準(zhǔn)確度達(dá)到1nm重復(fù)性為0.1nm

l 可以測(cè)量多層薄膜的厚度

l 測(cè)量范圍*小至1nm*大至500µm

l 提供多種實(shí)驗(yàn)臺(tái)及附件用于復(fù)雜外形材料的測(cè)量

l 對(duì)表面缺陷和粗糙度不敏感

l 龐大的材料數(shù)據(jù)庫(kù)保證各種材料的精確測(cè)量

l 自動(dòng)調(diào)節(jié)照明光源強(qiáng)度

l 高速、高精度測(cè)量，*高測(cè)量頻率達(dá)到300Hz

l 重量輕、體積小，攜帶方便、安裝簡(jiǎn)單，易于安裝在生產(chǎn)線(xiàn)上

l 分光干涉測(cè)量模式，無(wú)任何移動(dòng)部件，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作

l 非接觸光學(xué)無(wú)損測(cè)量，測(cè)量過(guò)程不會(huì)對(duì)樣品造成破壞

l 提供*佳解析模型，消除不同材料對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響

【使用特點(diǎn)】

快速：每次測(cè)量只需點(diǎn)擊鼠標(biāo)，測(cè)量結(jié)果立即呈現(xiàn)在屏幕上，不到一秒鐘。應(yīng)用于在線(xiàn)模式下，可在接受到采樣信號(hào)后，立即測(cè)量

準(zhǔn)確：準(zhǔn)確度1nm重復(fù)性0.1nm，準(zhǔn)確度優(yōu)于1%，有多種材料組成的龐大的材料庫(kù)，準(zhǔn)確分析被測(cè)的薄膜。儀器為光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，無(wú)任何移動(dòng)部件，不會(huì)由于多次測(cè)量產(chǎn)生回程等機(jī)械運(yùn)動(dòng)誤差，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作

無(wú)損：非接觸光學(xué)無(wú)損測(cè)量，無(wú)須破壞樣品或?qū)悠纷鎏厥馓幚?/span>

靈活：重量約為3kg，體積250*280*100mm，USB2.0/RS232/LAN多種接口連接方式，攜帶方便、安裝簡(jiǎn)單，可任意放置于實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)線(xiàn)甚至辦公桌上使用。擁有多種特種配件，可適應(yīng)如非平面測(cè)量、顯微測(cè)量等特殊需求

方便：儀器集成自動(dòng)調(diào)光模塊，根據(jù)系統(tǒng)捕捉到的光譜數(shù)據(jù)自動(dòng)調(diào)整光源的輸出功率，避免光超過(guò)光譜儀的高敏感度線(xiàn)陣探測(cè)器能探測(cè)的極限，不會(huì)出現(xiàn)圖像的飽和

易用：軟件界面直觀(guān)、中文顯示、操作簡(jiǎn)單、用戶(hù)體驗(yàn)出色。無(wú)需專(zhuān)業(yè)知識(shí)以及復(fù)雜的技術(shù)培訓(xùn)，預(yù)先設(shè)置好測(cè)試參數(shù)后，每次重復(fù)調(diào)用即可

性?xún)r(jià)比高：相對(duì)于傳統(tǒng)膜厚測(cè)量設(shè)備，儀器擁有非常高的性?xún)r(jià)比