技術(shù)參數(shù) TECHNOLGY PARAMETERS
■ 氣體純度：≤99.9995%
■ 露點(diǎn)：≤-60℃
技術(shù)特點(diǎn) TECHNOLGY FEATURES
若用戶所需氮?dú)饧兌却笥?9.99%時(shí)，在SCM制氮系統(tǒng)的基礎(chǔ)上應(yīng)配置純化設(shè)備。被系列產(chǎn)品采用碳脫氧催化劑，不需消耗氫氣源，碳與氮?dú)庵械挠嘌醴磻?yīng)生成二氧化碳，再采用變壓吸附工藝出去二氧化碳和水，經(jīng)過濾后得到高純度氮?dú)狻８呒兌鹊獨(dú)饧夹g(shù)指標(biāo)可達(dá)到02≤3PPm，CO2≤4PPm,露點(diǎn)≤-60℃