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超聲霧化CVD系統(tǒng)

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  • 所在地 鄭州市

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更新時間:2025-11-23 08:21:10瀏覽次數(shù):121

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產(chǎn)品簡介

該技術(shù)特別適用于那些難以獲得高純氣態(tài)前驅(qū)體、或使用氣態(tài)前驅(qū)體成本過高的材料體系,是傳統(tǒng)CVD和噴霧熱解(Spray Pyrolysis)技術(shù)的重要升級。

詳細(xì)介紹

設(shè)備核心特點與優(yōu)勢:

1、前驅(qū)體來源廣泛且成本低:

可使用廉價、易得的液態(tài)金屬鹽溶液(如硝酸鹽、氯化物、醋酸鹽),避免了昂貴、危險的金屬有機(jī)氣相沉積。

2、組分控制精確:

多種前驅(qū)體溶液可按比例混合霧化,實現(xiàn)多元復(fù)合薄膜(如鈣鈦礦、三元正極材料)的精確摻雜和成分調(diào)控。

3、薄膜均勻性好:

超聲霧化產(chǎn)生的液滴粒徑小、分布窄、濃度均勻,有利于獲得厚度和成分均勻的薄膜。

4、沉積面積大:

易于實現(xiàn)大面積均勻沉積,適合卷對卷(Roll-to-Roll)連續(xù)生產(chǎn)。

5、操作溫度相對較低

相比傳統(tǒng)CVD,可在較低溫度下沉積某些材料(如FTO在450-550°C)。

6、可制備復(fù)雜形貌:

通過調(diào)節(jié)工藝參數(shù)(濃度、流量、溫度),可控制薄膜的微觀結(jié)構(gòu)(致密、多孔、納米顆粒)。

7、綠色環(huán)保:

避免使用高毒性的金屬有機(jī)物(MO源),溶劑可回收利用。

設(shè)備名稱

迷你管式爐

設(shè)備型號

NBD-O1200-50TI-80

電源電壓

220V/50HZ

額定功率

1.2KW

溫度

1200℃

額定溫度

1150℃

爐膛空間

Φ80×200mm

設(shè)備外形尺寸

長920×高460×深360mm

傳感器類型

K型熱電偶

推薦升溫速率

10℃/min

可配爐管尺寸

Φ25*600mm Φ50*600mm

設(shè)備重量

約23KG

防腐超聲霧化儀

設(shè)備名稱

防腐超聲霧化儀

規(guī)格型號

NBD-U2.4-0.36L

供電電源

單相220V 50HZ

額定功率

55W(其中霧化儀35W,蠕動泵20W)

額定流量

9ml/min

蠕動泵泵頭型號

WP110

蠕動泵泵管型號

φ2(內(nèi)徑)*1mm(壁厚)

浮子流量計

0.5-8L/min

儲液罐容積

160ml

霧化顆粒度

5-10μm

霧化頻率

2.4MHZ

設(shè)備尺寸(帶金屬導(dǎo)軌和底板)

長800mm*高390mm*深280mm

設(shè)備重量(帶金屬導(dǎo)軌和底板)

約10KG

控制系統(tǒng)

1.可預(yù)存15條溫度曲線,避免不同的實驗工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩;

2.實驗過程更加直觀,操作更加便捷;

3.NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對話模式,非線性式樣溫度修正;

4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。


溫度精度

+/- 1℃

設(shè)備使用注意事項

1.設(shè)備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;

2.設(shè)備使用時,爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa(壓力),以防止壓力過大沖開密封法蘭;

3.高真空下使用時(10-3Pa),設(shè)備使用溫度不得超過800℃。

服務(wù)支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件。)

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