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參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備簡(jiǎn)介：

詳細(xì)介紹

	主要特點(diǎn)： 1. 集成液體氣化系統(tǒng)，可穩(wěn)定提供包括有毒液體在內(nèi)的反應(yīng)氣體條件； 2. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 3. 上開(kāi)啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣； 4. 產(chǎn)品采用全自動(dòng)控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示； 5. 設(shè)備一體化程度高； 6. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量； 7. 出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！
設(shè)備型號(hào)	NBD-PE1200-80TID2FY
供電電源	AC220V 50/60HZ
控溫精度	±1℃
觸摸屏尺寸	7英寸
射頻頻率	13.56MHz
射頻功率輸出范圍	0-200W
沉積加熱額定功率	4.0KW
蒸發(fā)器額定功率	1.3KW
伴熱帶額定功率	75W
傳感器類(lèi)型	K型熱電偶
沉積溫度	1200℃
沉積額定溫度	1150℃
蒸發(fā)器額定溫度	400℃
伴熱帶額定溫度	150℃
推薦升溫速率	≤10/min
沉積管徑	Φ80mm*1200mm
蒸發(fā)源管徑	Φ50mm*80mm
蒸發(fā)源有效容積	50ml
PECVD 外形尺寸	長(zhǎng)1500×高1280×深760mm
蒸發(fā)器外形尺寸	長(zhǎng)410×高350×深210mm
氣氛條件	混合氣、真空等
機(jī)械泵抽氣速率	16 立方米每小時(shí)
爐腔極限真空度	3~5Pa
法蘭結(jié)構(gòu)	航空鋁快開(kāi)模式；
操作系統(tǒng)	NBD-101EP集中總線控制集成系統(tǒng)，7"全觸摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人機(jī)對(duì)話模式；
真空測(cè)試	數(shù)字真空計(jì)獲取裝置；
設(shè)備細(xì)節(jié)
控制系統(tǒng)		1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄； 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。
弱腐蝕性氣體預(yù)熱器（可選配）		通體采用316L材料，對(duì)于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理，滿足特殊的工藝需求，溫度達(dá)600℃。
可選配（CRB升級(jí)型尾氣凈化器)		本公司研制的NBD-B型外延爐尾氣凈化器，在結(jié)構(gòu)上綜合采用了2個(gè)噴洗室和1個(gè)填料柱室，洗滌器所產(chǎn)生的負(fù)壓由人工手動(dòng)控制，補(bǔ)水系統(tǒng)由人工根據(jù)工藝情況調(diào)節(jié)。水溶性氣體的清除率高達(dá) 99.99％。凈化高、維護(hù)，運(yùn)行成本。
PECVD+CRB升級(jí)型尾氣凈化器應(yīng)用
部分界面
凈重	約300KG
設(shè)備使用注意事項(xiàng)	1.射頻匹配器一般處于自動(dòng)匹配狀態(tài)，一般功率需達(dá)到50W以上才能匹配； 2.若采用手動(dòng)匹配，將功率設(shè)到60W左右，手動(dòng)調(diào)諧匹配合適時(shí)，再增加功率
服務(wù)支持	一年有限保修，提供終身支持；

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