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超聲霧化CVD管式爐(mist-CVD霧化化學(xué)氣相沉積Mist Chemical Vapor Deposition)

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更新時(shí)間:2025-11-23 08:02:45瀏覽次數(shù):164

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備簡(jiǎn)介:

詳細(xì)介紹


系 統(tǒng)

1.液體流量控制系統(tǒng):中間體高精度傳輸、微小流量液體高精度傳輸、流量范圍:0.04~36ml/min;

2.霧化裝置:配有一個(gè)1.7MHz超聲霧化儀,可將液體霧化成液體顆粒,導(dǎo)入到管式爐中;

3.加熱系統(tǒng)(管式爐可定制):溫度可以達(dá)到1200℃。

電氣規(guī)格

AC220V    1.2KW

T-max

1200℃

長(zhǎng)期使用溫度

300~1150℃

升溫速率

1℃/H-20℃/Min

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

200mm

高精度蠕動(dòng)泵

1、轉(zhuǎn)速范圍:0.1·100rpm正反轉(zhuǎn)可逆;

2、速度分辨率:0.1rpm;

3、調(diào)速方式:薄膜按鍵;

4、顯示方式:4位LED顯示當(dāng)前轉(zhuǎn)速或當(dāng)前流量;

5、加強(qiáng)PP材質(zhì),耐腐蝕;

6、流速:0.04-13ml/min;

7、設(shè)有全速鍵,實(shí)現(xiàn)快速排空、添加;

8、具有掉電記憶功能,及時(shí)保存運(yùn)行參數(shù)。

霧化器

1.AC220V ,1.7MHz超聲霧化儀;

2.液體罐標(biāo)配為聚四氟材質(zhì),耐腐蝕,并采用硅膠密封圈密封;

3.可通過(guò)控制氣體流量計(jì)實(shí)現(xiàn)霧化流出速度;

4.可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行霧化。

5.流速:0.04-13ml/min。

控制系統(tǒng)

1.可預(yù)存15條溫度曲線,避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來(lái)的麻煩;

2.實(shí)驗(yàn)過(guò)程更加直觀,操作更加便捷;

3.可另選配無(wú)線控制模塊,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控;

4.具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等。

加熱元件

Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

流量控制

標(biāo)準(zhǔn)配置有一個(gè)浮子流量計(jì),流量計(jì)量程為
60-600ml/min(其它量程可與銷售聯(lián)系定制)

凈重

30kg

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

1.設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開爐膛,避免受到傷害;

2.設(shè)備使用時(shí),爐管內(nèi)壓力不得超過(guò)0.125MPa(壓力),以防止壓力過(guò)大沖開密封法蘭;

3.高真空下使用時(shí)(10-3Pa),設(shè)備使用溫度不得超過(guò)800℃。

服務(wù)與支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請(qǐng)?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購(gòu)更換件。)


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