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1200℃旋轉(zhuǎn)擺振CVD包覆加熱爐

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更新時間:2025-11-22 10:30:16瀏覽次數(shù):302

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產(chǎn)品簡介

1200℃旋轉(zhuǎn)擺振自動進出料CVD(化學氣相沉積)包覆加熱爐是一種高度集成的設備,專門設計用于在嚴格控制的條件下進行高質(zhì)量材料表面涂層。該設備不僅具備高溫處理能力,還結(jié)合了旋轉(zhuǎn)、擺振和自動進出料功能,確保涂層均勻且高效,適用于新材料開發(fā)、半導體制造、光學器件制備等多個領(lǐng)域。

詳細介紹

主要特點

1. 溫度控制

高溫穩(wěn)定性:能夠穩(wěn)定維持在1200℃的高溫環(huán)境,適用于多種材料的CVD過程。

PID智能控溫系統(tǒng):提供高精度的溫度控制,通常溫度波動范圍在±1℃以內(nèi),支持多段程序升溫曲線設置,適應復雜的工藝需求。

2. 旋轉(zhuǎn)與擺振功能

旋轉(zhuǎn)運動:樣品臺或反應室可以圍繞中心軸旋轉(zhuǎn),確保氣體分布均勻,促進涂層厚度的一致性。

擺振振動:除了旋轉(zhuǎn)外,還配備了擺振裝置,使樣品在三維空間內(nèi)輕微振動,進一步提高涂層的均勻性和致密性。

3. 自動進出料系統(tǒng)

自動化操作:配備自動進出料系統(tǒng),實現(xiàn)物料的連續(xù)進料和出料,減少人工干預,提高生產(chǎn)效率。

安全可靠:自動進出料系統(tǒng)采用的機械臂或傳送帶技術(shù),確保操作的安全性和可靠性。

靈活性:可根據(jù)不同批次的樣品尺寸和形狀進行調(diào)整,適應多樣化的實驗需求。

4. 氣氛控制

多種氣氛選擇:支持真空、惰性氣體(如氮氣、氬氣)、還原性氣體(如氫氣)等多種氣氛條件,滿足不同材料的CVD需求。

可選配精確流量控制:通過質(zhì)量流量控制器(MFC)精確調(diào)節(jié)反應氣體的流量,確保化學反應的條件。

5. 智能化控制系統(tǒng)

觸摸屏界面:直觀易用的操作界面,便于用戶輸入?yún)?shù)、啟動測試和查看結(jié)果。

數(shù)據(jù)記錄與分析:實時監(jiān)控系統(tǒng),方便用戶追蹤生產(chǎn)過程,并自動記錄關(guān)鍵參數(shù),便于后續(xù)數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。

遠程監(jiān)控與管理:支持遠程連接,可通過互聯(lián)網(wǎng)對設備進行監(jiān)控和管理,提升工作效率。

6. 安全防護措施

過溫保護裝置:當檢測到異常高溫時,系統(tǒng)會自動報警并切斷電源,防止設備損壞。

緊急停止按鈕:確保操作人員的安全。

設備名稱

1200℃旋轉(zhuǎn)擺振CVD包覆加熱爐

規(guī)格型號

NBD-RT1200-100T2DF2LN

供電電源

AC380V 50HZ

額定功率

4.5KW

溫區(qū)數(shù)量

單溫雙控

控溫精度

±1℃

加熱元件

合金電阻絲

傳感器類型

K型熱電偶φ2*420mm

Tmax

1200℃

長期工作溫度

1100℃

升溫速率

1℃/H-20℃/Min

爐膛溫區(qū)尺寸

Φ150*440(220+220)mm

爐體傾斜角度

-5-20°

爐管規(guī)格

60*3*1000 中間100*3*355/380,內(nèi)接3只20*3*340刮片

爐管旋轉(zhuǎn)速度

1-10rpm

送料速度

1-25ml/min(粉狀料)

送料粒徑

<φ0.1mm

進出料罐容積

2L

浮子流量計

0.1-0.8L/min

爐體尺寸

長1763*高1683*深795mm

爐體重量

約272KG

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設置:動態(tài)顯示設置曲線,設備燒結(jié)可預存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設置;

2、可預約燒結(jié),實現(xiàn)無人值守燒結(jié)工藝曲線燒結(jié);

3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導出實現(xiàn)無紙記錄;

4、具有實現(xiàn)遠程操控,實時觀測設備狀態(tài);

5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進行非線性修正。

爐膛細節(jié)


帶有揚料板的變徑石英管

弱壓力測量與監(jiān)控

腐蝕性氣體預熱器

(可選配)


通體采用316L材料,對于各種氣體以及腐蝕性氣體的預加熱處理,滿足特殊的工藝需求,溫度達600℃。


加熱元件



合金電阻絲


壓力測量與監(jiān)控



采用機械壓力表,表外殼為氣密型結(jié)構(gòu),能有效保護內(nèi)部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力

供氣系統(tǒng)


采用浮子流量計控制氣體流速,與設備一體化,且出廠前已進行漏氣測試工作。

服務與支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件)。

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