主要特點(diǎn)

1. 溫度控制

高溫穩(wěn)定性：能夠穩(wěn)定維持在1200℃的高溫環(huán)境，適用于多種材料的CVD過程。

PID智能控溫系統(tǒng)：提供高精度的溫度控制，通常溫度波動(dòng)范圍在±1℃以內(nèi)，支持多段程序升溫曲線設(shè)置，適應(yīng)復(fù)雜的工藝需求。

2. 旋轉(zhuǎn)與擺振功能

旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)：樣品臺(tái)或反應(yīng)室可以圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)，確保氣體分布均勻，促進(jìn)涂層厚度的一致性。

擺振振動(dòng)：除了旋轉(zhuǎn)外，還配備了擺振裝置，使樣品在三維空間內(nèi)輕微振動(dòng)，進(jìn)一步提高涂層的均勻性和致密性。

3. 自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)

自動(dòng)化操作：配備自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)物料的連續(xù)進(jìn)料和出料，減少人工干預(yù)，提高生產(chǎn)效率。

安全可靠：自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)采用的機(jī)械臂或傳送帶技術(shù)，確保操作的安全性和可靠性。

靈活性：可根據(jù)不同批次的樣品尺寸和形狀進(jìn)行調(diào)整，適應(yīng)多樣化的實(shí)驗(yàn)需求。

4. 氣氛控制

多種氣氛選擇：支持真空、惰性氣體（如氮?dú)?、氬氣）、還原性氣體（如氫氣）等多種氣氛條件，滿足不同材料的CVD需求。

可選配精確流量控制：通過質(zhì)量流量控制器（MFC）精確調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體的流量，確?；瘜W(xué)反應(yīng)的條件。

5. 智能化控制系統(tǒng)

觸摸屏界面：直觀易用的操作界面，便于用戶輸入?yún)?shù)、啟動(dòng)測試和查看結(jié)果。

數(shù)據(jù)記錄與分析：實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，方便用戶追蹤生產(chǎn)過程，并自動(dòng)記錄關(guān)鍵參數(shù)，便于后續(xù)數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。

遠(yuǎn)程監(jiān)控與管理：支持遠(yuǎn)程連接，可通過互聯(lián)網(wǎng)對設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控和管理，提升工作效率。

6. 安全防護(hù)措施

過溫保護(hù)裝置：當(dāng)檢測到異常高溫時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)報(bào)警并切斷電源，防止設(shè)備損壞。

緊急停止按鈕：確保操作人員的安全。

設(shè)備名稱

1200℃旋轉(zhuǎn)擺振CVD包覆加熱爐

規(guī)格型號(hào)

NBD-RT1200-100T2DF2LN

供電電源

AC380V 50HZ

額定功率

4.5KW

溫區(qū)數(shù)量

單溫雙控

控溫精度

±1℃

加熱元件

合金電阻絲

傳感器類型

K型熱電偶φ2*420mm

Tmax

1200℃

長期工作溫度

1100℃

升溫速率

1℃/H-20℃/Min

爐膛溫區(qū)尺寸

Φ150*440（220+220）mm

爐體傾斜角度

-5-20°

爐管規(guī)格

60*3*1000 中間100*3*355/380,內(nèi)接3只20*3*340刮片

爐管旋轉(zhuǎn)速度

1-10rpm

送料速度

1-25ml/min（粉狀料）

送料粒徑

＜φ0.1mm

進(jìn)出料罐容積

2L

浮子流量計(jì)

0.1-0.8L/min

爐體尺寸

長1763*高1683*深795mm

爐體重量

約272KG

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置；

2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)；

3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄；

4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測設(shè)備狀態(tài)；

5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。

爐膛細(xì)節(jié)

弱壓力測量與監(jiān)控

（可選配）

加熱元件

壓力測量與監(jiān)控

供氣系統(tǒng)

服務(wù)與支持