主要特點

1. 溫度控制

高溫穩(wěn)定性：能夠穩(wěn)定維持在1200℃的高溫環(huán)境，適用于多種材料的CVD過程。

PID智能控溫系統(tǒng)：提供高精度的溫度控制，通常溫度波動范圍在±1℃以內(nèi)，支持多段程序升溫曲線設置，適應復雜的工藝需求。

2. 旋轉(zhuǎn)與擺振功能

旋轉(zhuǎn)運動：樣品臺或反應室可以圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)，確保氣體分布均勻，促進涂層厚度的一致性。

擺振振動：除了旋轉(zhuǎn)外，還配備了擺振裝置，使樣品在三維空間內(nèi)輕微振動，進一步提高涂層的均勻性和致密性。

3. 自動進出料系統(tǒng)

自動化操作：配備自動進出料系統(tǒng)，實現(xiàn)物料的連續(xù)進料和出料，減少人工干預，提高生產(chǎn)效率。

安全可靠：自動進出料系統(tǒng)采用的機械臂或傳送帶技術(shù)，確保操作的安全性和可靠性。

靈活性：可根據(jù)不同批次的樣品尺寸和形狀進行調(diào)整，適應多樣化的實驗需求。

4. 氣氛控制

多種氣氛選擇：支持真空、惰性氣體（如氮氣、氬氣）、還原性氣體（如氫氣）等多種氣氛條件，滿足不同材料的CVD需求。

可選配精確流量控制：通過質(zhì)量流量控制器（MFC）精確調(diào)節(jié)反應氣體的流量，確保化學反應的條件。

5. 智能化控制系統(tǒng)

觸摸屏界面：直觀易用的操作界面，便于用戶輸入?yún)?shù)、啟動測試和查看結(jié)果。

數(shù)據(jù)記錄與分析：實時監(jiān)控系統(tǒng)，方便用戶追蹤生產(chǎn)過程，并自動記錄關(guān)鍵參數(shù)，便于后續(xù)數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。

遠程監(jiān)控與管理：支持遠程連接，可通過互聯(lián)網(wǎng)對設備進行監(jiān)控和管理，提升工作效率。

6. 安全防護措施

過溫保護裝置：當檢測到異常高溫時，系統(tǒng)會自動報警并切斷電源，防止設備損壞。

緊急停止按鈕：確保操作人員的安全。

設備名稱

1200℃旋轉(zhuǎn)擺振CVD包覆加熱爐

規(guī)格型號

NBD-RT1200-100T2DF2LN

供電電源

AC380V 50HZ

額定功率

4.5KW

溫區(qū)數(shù)量

單溫雙控

控溫精度

±1℃

加熱元件

合金電阻絲

傳感器類型

K型熱電偶φ2*420mm

Tmax

1200℃

長期工作溫度

1100℃

升溫速率

1℃/H-20℃/Min

爐膛溫區(qū)尺寸

Φ150*440（220+220）mm

爐體傾斜角度

-5-20°

爐管規(guī)格

60*3*1000 中間100*3*355/380,內(nèi)接3只20*3*340刮片

爐管旋轉(zhuǎn)速度

1-10rpm

送料速度

1-25ml/min（粉狀料）

送料粒徑

＜φ0.1mm

進出料罐容積

2L

浮子流量計

0.1-0.8L/min

爐體尺寸

長1763*高1683*深795mm

爐體重量

約272KG

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設置：動態(tài)顯示設置曲線，設備燒結(jié)可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置；

2、可預約燒結(jié)，實現(xiàn)無人值守燒結(jié)工藝曲線燒結(jié)；

3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導出實現(xiàn)無紙記錄；

4、具有實現(xiàn)遠程操控，實時觀測設備狀態(tài)；

5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進行非線性修正。

爐膛細節(jié)

弱壓力測量與監(jiān)控

（可選配）

加熱元件

壓力測量與監(jiān)控

供氣系統(tǒng)

服務與支持