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詳細摘要： 本設備基于雙旋轉補償器調制技術一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜，可實現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學常數(shù)的快速分析表征。

詳細摘要： SE-VE橢偏儀是基于單旋轉補償器調制技術一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜，可實現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學常數(shù)的快速分析表征。