測量參數(shù)

Ra、Rz、Ry、Rq、Rt、Rp、Rv、Rmax、R3z、RSk、RS、RSm、Rmr

測量范圍

Ra:0.025～12.5μm

顯示范圍

Ra、Rq：0.005～16μm，Rz、Ry、Rt、Rp、Rv、Rmax、R3z：0.02～160μm，RS、RSm：1mm，Rmr：0～99%(%Rt)，Rsk：0～99%

量程范圍

±20μm、±40μm、±80μm

顯示分辨率

0.001μm

濾波方式

RC、PC-RC、GAUSS、D-P

取樣長度

0.25mm、0.8mm、2.5mm、自動

評定長度

1L～5L(可選，L為取樣長度)

測量行程長度

3L～7L(可選，L為取樣長度)

驅動行程長度

17.5mm/0.71inch

最小驅動行程長度

1.3mm/0.052inch

示值誤差

≤±10%

示值變動性

≤6%

針尖角度

90°

顯示方式

128×64點陣液晶(帶背光)

工作環(huán)境溫度

0oC～40oC，相對濕度：<90%

重量

440g

外型尺寸

140×52×48mm